Yn gyffredinol, mae adweithiau CVD yn dibynnu ar dymheredd uchel, a elwir felly yn ddyddodiad anwedd cemegol wedi'i gynhyrfu'n thermol (TCVD).Yn gyffredinol, mae'n defnyddio rhagflaenwyr anorganig ac yn cael ei berfformio mewn adweithyddion waliau poeth a waliau oer.Mae ei ddulliau gwresogi yn cynnwys gwresogi amledd radio (RF), gwresogi ymbelydredd isgoch, gwresogi gwrthiant, ac ati.
Dyddodiad anwedd cemegol wal boeth
Mewn gwirionedd, mae adweithydd dyddodiad anwedd cemegol wal boeth yn ffwrnais thermostatig, wedi'i gwresogi fel arfer ag elfennau gwrthiannol, ar gyfer cynhyrchu ysbeidiol.Dangosir lluniad o gyfleuster cynhyrchu dyddodiad anwedd cemegol wal boeth ar gyfer gorchuddio offer sglodion fel a ganlyn.Gall y dyddodiad anwedd cemegol wal poeth hwn orchuddio TiN, TiC, TiCN a ffilmiau tenau eraill.Gellir dylunio'r adweithydd i fod yn ddigon mawr ac yna dal nifer fawr o gydrannau, a gellir rheoli'r amodau'n fanwl iawn ar gyfer dyddodiad.Mae Pic 1 yn dangos dyfais haen epitaxial ar gyfer dopio silicon o gynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion.Rhoddir y swbstrad yn y ffwrnais i gyfeiriad fertigol i leihau halogiad yr wyneb dyddodiad gan ronynnau, a chynyddu'r llwyth cynhyrchu yn fawr.Mae adweithyddion wal boeth ar gyfer cynhyrchu lled-ddargludyddion fel arfer yn cael eu gweithredu ar bwysau isel.
Amser postio: Nov-08-2022