Udstyret anvender elektronstrålefordampningsteknologien.Elektroner udsendes fra katodefilamentet og fokuseres til en bestemt strålestrøm, som accelereres af potentialet mellem katoden og digelen for at smelte og fordampe belægningsmaterialet.Det har karakteristika af høj energitæthed og kan fordampe belægningsmaterialet med et smeltepunkt på mere end 3000 ℃.Filmen har høj renhed og høj termisk effektivitet.
Udstyret er udstyret med elektronstrålefordampningskilde, ionkilde, filmtykkelsesovervågningssystem, filmtykkelseskorrektionsstruktur og stabilt paraply-emnerotationssystem.Gennem ionkildeassisteret belægning øges filmens kompakthed, brydningsindekset stabiliseres, og fænomenet med bølgelængdeforskydning på grund af fugt undgås.Det fuldautomatiske filmtykkelses-realtidsovervågningssystem kan sikre processens repeterbarhed og stabilitet.Den er udstyret med selvsmeltende funktion for at reducere afhængigheden af operatørens færdigheder.
Udstyret kan anvendes til forskellige oxider og metalbelægningsmaterialer og kan belægges med flerlags optiske præcisionsfilm, såsom AR-film, langbølgepas, kortbølgepas, lysende film, AS / AF-film, IRCUT, farvefilmsystem , gradientfilmsystem osv. Det har været meget brugt i AR-briller, optiske linser, kameraer, optiske linser, filtre, halvlederindustrier osv.