1) Cylindriske mål har højere udnyttelsesgrad end plane mål.I belægningsprocessen, uanset om det er en roterende magnetisk type eller et cylindrisk sputtermål af roterende rørtype, passerer alle dele af overfladen af målrøret kontinuerligt gennem sputterområdet, der genereres foran den permanente magnet for at modtage katodeforstøvning, og målet kan sputteres ensartet, og måludnyttelsesgraden er høj.Udnyttelsesgraden af målmaterialer er omkring 80% ~ 90%.
2) Cylindriske mål vil ikke let producere "målforgiftning".Under belægningsprocessen bliver overfladen af målrøret altid sputteret og ætset af ioner, og det er ikke let at akkumulere tykke oxider og andre isolerende film på overfladen, og det er ikke let at producere "målforgiftning".
3) Strukturen af det cylindriske sputtermål af roterende målrørstype er enkel og nem at installere.
4) Det cylindriske målrørmateriale har forskellige typer.plane mål med metalmål direkte vandkøling, og nogle kan ikke behandles og dannes cylindriske mål, såsom In2-SnO2 mål, etc. med pulvermateriale til varm isostatisk presning for at opnå pladelignende mål, fordi størrelsen ikke kan laves store og sprøde, så det er nødvendigt at bruge loddemetode og kobberbagplade til at integrere og derefter installere på målbasen.Ud over metalrør kan søjlemål også sprøjtes på overfladen af rustfri stålrør med forskellige materialer, der skal belægges, såsom Si, Cr, osv.
På nuværende tidspunkt er andelen af cylindriske mål til belægning i industriel produktion stigende.Cylindriske mål bruges ikke kun til den vertikale belægningsmaskine, men bruges også i rulle til rulle belægningsmaskine.I de senere år er de plane tvillingemål gradvist erstattet af de Cylindriske tvillingemål.
——Denne artikel blev udgivet af Guangdong Zhenhua Technology, enproducent af optiske belægningsmaskiner.
Indlægstid: maj-11-2023