1. Karakteristika af lysbuelys elektronstrøm
Tætheden af elektronstrøm, ionstrøm og højenergi-neutrale atomer i lysbueplasma genereret af lysbueudladning er meget højere end for lysudladning.Der er flere gasioner og metalioner ioniserede, exciterede højenergiatomer og forskellige aktive grupper i belægningsrummet, som spiller en vigtig rolle i opvarmnings-, rengørings- og belægningsstadierne i belægningsprocessen.Handlingsformen for bueelektronstrøm er forskellig fra den for ionstråle, som ikke alle konvergerer til en "stråle", men for det meste i en divergerende tilstand, så det kaldes bueelektronstrøm.Fordi lysbueelektroner strømmer mod anoden, rettes lysbueelektronstrømmen overalt, hvor den positive elektrode på lysbuestrømforsyningen er tilsluttet, og anoden kan være et emne, en hjælpeanode, en digel osv.
2. Metode til generering af lysbueelektronstrøm
(1) Gaskilden genererer lysbueelektronstrøm: buestrømmen af hul katodebueudladning og varmetrådsbueudladning kan nå omkring 200A, og buespændingen er 50-70V.
(2) Solid kilde genererer bueelektronstrøm: katodebuekilde, inklusive lille buekilde, cylindrisk buekilde, rektangulært plan stor buekilde osv. Buestrømmen for hver katodebuekildeudladning er 80-200A, og buespændingen er 18-25V.
Lysbueelektronstrømmen med høj densitet og lavenergi i to typer lysbueudladningsplasmaer kan generere intens kollisionsionisering med gas- og metalfilmatomer og opnå flere gasioner, metalioner og forskellige højenergiaktive atomer og grupper og derved forbedre filmlagets samlede aktivitet.
–Denne artikel blev udgivet af Guangdong Zhenhua, enfabrikant af vakuumbelægningsmaskine
Indlægstid: 31. maj 2023