1. Arbejdsemnets forspænding er lav
På grund af tilføjelsen af en enhed for at øge ioniseringshastigheden, øges afladningsstrømtætheden, og forspændingen reduceres til 0,5 ~ 1kV.
Tilbagesputteringen forårsaget af overdreven bombardement af højenergi-ioner og skadevirkningen på emnets overflade reduceres.
2. Øget plasmadensitet
Forskellige foranstaltninger til fremme af kollisionsionisering er blevet tilføjet, og metalioniseringsraten er steget fra 3% til mere end 15%.Tætheden af hageioner og højenergi neutrale atomer, nitrogenioner, højenergiaktive atomer og aktive grupper i belægningskammeret øges, hvilket er befordrende for reaktionen til dannelse af forbindelser.De ovennævnte forskellige forbedrede glødeudladningsion-belægningsteknologier har været i stand til at opnå TN-hårde filmlag ved reaktionsaflejring ved højere plasmadensiteter, men fordi de tilhører glødeudladningstypen, er afladningsstrømtætheden ikke høj nok (stadig mA/cm2-niveau ), og den samlede plasmadensitet er ikke høj nok, og processen med reaktionsudfældning af sammensatte belægning er vanskelig.
3. Belægningsområdet for punktfordampningskilden er lille
Forskellige forbedrede ionbelægningsteknologier bruger elektronstrålefordampningskilder og gantu som en punktfordampningskilde, som er begrænset til et vist interval over gantu til reaktionsdeposition, så produktiviteten er lav, processen er vanskelig, og det er vanskeligt at industrialisere.
4. Elektronisk pistol højtryksdrift
Elektronkanonspændingen er 6~30kV, og emnets forspænding er 0,5~3kV, hvilket hører til højspændingsdrift og har visse sikkerhedsrisici.
——Denne artikel blev udgivet af Guangdong Zhenhua Technology, enproducent af optiske belægningsmaskiner.
Indlægstid: 12. maj 2023