Under fordampningsbelægning er kernedannelsen og væksten af filmlaget grundlaget for forskellige ionbelægningsteknologier
1.Nukleation
Invakuumfordampningsbelægningsteknologi,efter at filmlagspartiklerne er fordampet fra fordampningskilden i form af atomer, flyver de direkte til emnet i højvakuum og danner filmlaget ved kernedannelse og vækst på emnets overflade.Under vakuumfordampning er energien af filmlagsatomer, der undslipper fra fordampningskilden, omkring 0,2 eV.Når kohæsionen mellem filmlagets partikler er større end bindingskraften mellem filmlagets atomer og emnet, dannes en ø-kerne.Et enkelt filmlags atom forbliver på overfladen af emnet i hele tiden og udfører uregelmæssig bevægelse, diffusion, migration eller kollision med andre atomer for at danne atomklynger Antallet af atomer i atomklyngen når en vis kritisk værdi, en stabil kerne er dannet, kaldet en homogen formet kerne.
glat, og indeholder mange defekter og trin, som forårsager forskellen i adsorptionskraften af forskellige dele af emnet til de radioaktive atomer.Adsorptionsenergien på overfladen af defekten er større end den af den normale overflade, så den bliver det aktive center, hvilket er befordrende for præferencekernedannelse, kaldet heterogen nukleering.Når kohæsionskraften er lig med bindingskraften, eller bindingskraften mellem membranatomerne og emnet er større end kohæsionskraften mellem membranatomerne, dannes den lamelære struktur.I ionpletteringsteknologi dannes økerne i de fleste tilfælde.
2.Vækst
Når først filmens kerne er dannet, fortsætter den med at vokse ved at fange de indfaldende atomer. Øerne vokser og kombineres med hinanden for at danne større halvkugler, der gradvist danner et halvkugleformet ø-lag, der breder sig over overfladen af emnet.
Når filmlagets atomenergi er høj, kan den diffundere tilstrækkeligt på overfladen, og der kan dannes en glat kontinuerlig film, når de efterfølgende indkommende atomklynger er små.Hvis diffusionen af atomerne på overfladen er svag og størrelsen på de aflejrede klynger er store, de eksisterer som store halvøkerner. Toppen af øens kerne har en stærk skyggevirkning på den konkave del, det vil sige "skyggeeffekten". Projektionen af overfladen er mere befordrende for at fange efterfølgende aflejrede atomer og præferentiel vækst, hvilket resulterer i en stigende grad af konkavitet på overfladen for at danne koniske eller søjleformede krystaller af tilstrækkelig størrelse.Gennemtrængende hulrum dannes mellem de koniske krystaller, og overfladeruhedsværdien stiger. Fint væv kan opnås ved højvakuum, med faldet i vakuumgraden bliver membranens mikrostruktur tykkere og tykkere.
Indlægstid: 24. maj 2023