Detvakuumbelægningsudstyrer sammensat af mange præcise dele, som er lavet gennem mange processer, såsom svejsning, slibning, drejning, høvling, boring, fræsning og så videre.På grund af disse værker vil overfladen af udstyrsdele uundgåeligt blive forurenet med nogle forurenende stoffer såsom fedt, oliesnavs, metalspåner, svejsemiddel, poleringspasta, svedmærker og så videre.Disse forurenende stoffer er nemme at fordampe under vakuumforhold, hvilket påvirker udstyrets ultimative vakuum.
Derudover absorberer disse vakuumforurenende stoffer fra mekanisk bearbejdning en stor mængde gas i det atmosfæriske trykmiljø, og i vakuumtilstanden vil disse tidligere adsorberede gasser også blive frigivet igen, hvilket bliver en væsentlig faktor, der begrænser grænsevakuumet.Af denne grund skal forureningerne fjernes, før delene af vakuumbelægningsmaskinen samles.
Under brugen af vakuumudstyr vil dets komponenter også blive forurenet.Forureningen fra denne kilde er dog hovedsageligt forårsaget af brugsforholdene og vakuumpumpen.
1. Fordampningen af vakuummålerens filament under høje temperaturforhold vil føre til dannelse af en film på den keramiske isolator, hvilket vil beskadige dens isoleringsstyrke til en vis grad og også have en vis indvirkning på nøjagtigheden af dens måling;
2. På grund af højtemperaturfordampning vil der dannes en metalfilm på overfladen nær elektronkanonens filament i vakuum;
3. På grund af sputtering af emnet vil den indvendige væg af ionstråleætseudstyr blive forurenet af stænk;
4. Den indre væg af vakuumfordampningsbelægningsudstyret vil blive forurenet af dets fordampningsmålmateriale;
5. Vakuumtørresystem bruges ofte, og systemet vil blive forurenet af de fordampede stoffer;
6. Diffusionspumpeolien og mekanisk pumpeolie i vakuumbelægningsudstyret er også en væsentlig kilde til forurening.Efter at belægningsmaskinen har arbejdet i lang tid, kan der dannes en oliefilm inde i udstyret.
For at opsummere involverer vakuumsanering af udstyr vakuumudstyr, vakuumsystem, vakuumprocesproduktion og andre aspekter og forbindelser, såvel som kravene til selve vakuumbelægningsudstyret og speciel vakuumproces på brugsbetingelserne.Derfor er vakuumforurening et problem, der er værd at være opmærksom på, fordi denne forurening vil påvirke udstyrets ydeevne, og der skal lægges vægt på regelmæssig eller til enhver tid rengøring.
Indlægstid: 21-2-2023