Hvad er modstandsfordampningskildebelægning?

Modstandsfordampningskildebelægning er en grundlæggende vakuumfordampningsbelægningsmetode."Fordampning" refererer til en tyndfilmsfremstillingsmetode, hvor coatingmaterialet i vakuumkammeret opvarmes og fordampes, så materialets atomer eller molekyler fordamper og undslipper fra overfladen og danner et dampstrømsfænomen, der falder ind på overfladen af substrat eller substrat, og til sidst kondenseret til dannelse af en fast film.

Den såkaldte modstandsfordampningskildebelægningsmetode er at bruge tantal, molybdæn, wolfram og andre metaller med højt smeltepunkt til at lave en passende form af fordampningskilde, som er fyldt med materialer, der skal fordampes, lade luften strømme igennem, direkte opvarme og fordampe de fordampede materialer, eller anbringe materialerne, der skal fordampes, i aluminiumoxid, berylliumoxid og andre digler til indirekte opvarmning og fordampning.Dette er modstandsopvarmningsfordampningsmetoden.

Detvakuumfordampningsbelægningsmaskineopvarmet og fordampet af modstandsvarmer har fordelene ved enkel struktur, lave omkostninger og pålidelig brug.Den kan bruges til fordampningsbelægning af materialer med lavt smeltepunkt, især til masseproduktion med lave krav til belægningskvalitet.Indtil videre er der stadig et stort antal belægningsprocesser med modstandsopvarmning og fordampning taget i brug i produktionen af ​​aluminiserede spejle.

Ulemperne ved modstandsfordampningskildens fordampningsbelægningsmetode er, at den maksimale temperatur, der kan nås ved opvarmning, er begrænset, og varmelegemets levetid er også kort.I de senere år har udstyrsfabrikken, for at forbedre levetiden for modstandsfordampningskilden, taget det ledende keramiske materiale syntetiseret af bornitrid med en lang levetid som fordampningskilde.Ifølge en japansk patentrapport kan den bruge materialer sammensat af 20% ~ 30% bornitrid og ildfaste materialer, der kan smeltes sammen med det for at lave fordampningskilden (digel), og belægge dens overflade med et lag zirconium indeholdende 62% ~82%, og resten er zirconium-silicium legeringsmaterialer.