Denne serie af udstyr bruger magnetronmål til at omdanne belægningsmaterialer til partikler på nanometerstørrelse, som aflejres på overfladen af substrater for at danne tynde film.Den rullede film anbringes i vakuumkammeret.Gennem den elektrisk drevne viklingsstruktur modtager den ene ende filmen, og den anden lægger filmen.Det fortsætter med at passere gennem målområdet og modtager målpartiklerne for at danne en tæt film.
Egenskab:
1. Lav temperatur filmdannelse.Temperaturen har ringe effekt på filmen og vil ikke fremkalde deformation.Den er velegnet til PET, PI og andre basismaterialer spolefilm.
2. Filmtykkelsen kan designes.Tynde eller tykke belægninger kan designes og aflejres ved procesjustering.
3. Multiple target location design, fleksibel proces.Hele maskinen kan udstyres med otte mål, der kan bruges som enten simple metalmål eller sammensatte og oxid-mål.Det kan bruges til at fremstille enkeltlagsfilm med enkeltstruktur eller flerlagsfilm med kompositstruktur.Processen er meget fleksibel.
Udstyret kan fremstille elektromagnetisk afskærmningsfilm, fleksibel printpladebelægning, forskellige dielektriske film, flerlags AR antirefleksfilm, HR høj antireflektionsfilm, farvefilm osv. udstyret har en meget bred vifte af anvendelser, og enkeltlags filmaflejring kan gennemføres ved engangsfilmaflejring.
Udstyret kan anvende simple metalmål som Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl osv., eller sammensatte mål som SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO osv.
Udstyret er lille i størrelse, kompakt i strukturdesign, lille i gulvareal, lavt energiforbrug og fleksibelt i justering.Det er meget velegnet til procesforskning og -udvikling eller lille batch-masseproduktion.