Kompositbelægningsudstyr af magnetronforstøvning og katodisk multi-bue-ionbelægning kan arbejde separat og samtidigt;kan deponeres og fremstilles ren metalfilm, metalsammensat film eller kompositfilm;kan være et enkelt lag film og en flerlags kompositfilm.
Dens fordele som følger:
Den kombinerer ikke kun fordelene ved forskellige ionbelægninger og tager højde for fremstilling og afsætning af tynd film til forskellige anvendelsesområder, men tillader også afsætning og fremstilling af flerlags monolitiske film eller flerlags kompositfilm i samme vakuum belægningskammer på én gang.
Anvendelsen af aflejrede filmlag er meget udbredt, dens teknologier er i en række forskellige former, de typiske som følger:
(1) Sammensætningen af ikke-ligevægtsmagnetronforstøvning og katodisk ionbelægningsteknologi.
Dens enhed er vist som følger.Det er et sammensat belægningsudstyr af søjleformet magnetronmål og plan katodisk lysbue-ionbelægning, som er velegnet til både værktøjsbelægningssammensætningsfilm og dekorativ filmbelægning.Til værktøjsbelægning bruges den katodiske lysbue-ionbelægning først til basislagsbelægningen, og derefter bruges søjlemagnetronmålet til afsætning af nitrid og andre filmlag for at opnå en højpræcisionsbehandlingsværktøjsoverfladefilm.
Til dekorativ belægning kan dekorative TiN- og ZrN-film aflejres ved katodisk lysbuebelægning først og derefter doteres med metal ved hjælp af magnetronmål, og dopingeffekten er meget god.
(2) Sammensætningen af dobbeltplan magnetron og søjlekatode-bueion-belægningsteknikker.Enheden er vist som følger.Det bruges den avancerede tvillingmålsteknologi, når to side-om-side tvillingmål forbundet med mellemfrekvent strømforsyning, overvinder det ikke kun målforgiftningen af DC-sputtering, brand og andre ulemper;og kan afsætte Al203, SiO2 oxid kvalitetsfilm, så oxidationsmodstanden af de coatede dele er øget og forbedret.Søjleformet multibuemål installeret i midten af vakuumkammeret, målmaterialet kan bruges Ti og Zr, ikke kun for at opretholde fordelene ved høj multi-bue dissociationshastighed, aflejringshastighed, men kan også effektivt reducere "dråber" i processen med små plan multi-arc mål aflejring, kan afsætte og forberede en lav porøsitet af metal film, sammensatte film.Hvis Al og Si bruges som målmaterialer til de dobbelte plane magnetronmål installeret i periferien, kan Al203 eller Si0 metalkeramiske film aflejres og forberedes.Derudover kan flere små fly af multi-bue fordampningskilde installeres i periferien, og dets målmateriale kan være Cr eller Ni, og metalfilm og flerlags kompositfilm kan afsættes og forberedes.Derfor er denne kompositbelægningsteknologi en kompositbelægningsteknologi med flere anvendelser.
Indlægstid: 8-08-2022