Vakuum plasma rengøringsudstyr vedtager integreret struktur, udstyret med RF ion rengøringssystem, fuldautomatisk kontrol, bekvem betjening og vedligeholdelse.
RF højfrekvensgeneratoren kan generere højdensitetsplasma, aktivere, ætse og aske arbejdsemnets overflade, effektivt fjerne støv og fedt på produktoverfladen, frigive overfladespændingen og opnå forskellige modifikationer på emneoverfladen.
Det er anvendeligt til gummi, glas, keramik, metal og andre produkter og anvendes til mikroelektronik, LCD, LED, LCM, PCB-kredsløbskort, halvlederemballage, medicinsk udstyr, biovidenskabelige eksperimenter og andre områder.