Das Gerät nutzt die Elektronenstrahlverdampfungstechnologie.Elektronen werden vom Kathodenfaden emittiert und in einen bestimmten Strahlstrom fokussiert, der durch das Potenzial zwischen Kathode und Tiegel beschleunigt wird, um das Beschichtungsmaterial zu schmelzen und zu verdampfen.Es zeichnet sich durch eine hohe Energiedichte aus und kann das Beschichtungsmaterial mit einem Schmelzpunkt von mehr als 3000 °C verdampfen.Der Film weist eine hohe Reinheit und einen hohen thermischen Wirkungsgrad auf.
Die Ausrüstung ist mit einer Elektronenstrahlverdampfungsquelle, einer Ionenquelle, einem System zur Überwachung der Filmdicke, einer Struktur zur Korrektur der Filmdicke und einem stabilen System zur Rotation des Werkstücks mit Schirm ausgestattet.Durch die ionenquellenunterstützte Beschichtung wird die Kompaktheit des Films erhöht, der Brechungsindex stabilisiert und das Phänomen der Wellenlängenverschiebung aufgrund von Feuchtigkeit vermieden.Das vollautomatische Echtzeitüberwachungssystem für die Filmdicke kann die Wiederholbarkeit und Stabilität des Prozesses gewährleisten.Es ist mit einer Selbstschmelzfunktion ausgestattet, um die Abhängigkeit von den Fähigkeiten des Bedieners zu verringern.
Die Ausrüstung ist auf verschiedene Oxide und Metallbeschichtungsmaterialien anwendbar und kann mit mehrschichtigen optischen Präzisionsfilmen wie AR-Film, Langwellendurchgang, Kurzwellendurchgang, Aufhellungsfilm, AS/AF-Film, IRCUT und Farbfilmsystem beschichtet werden , Gradientenfilmsystem usw. Es wird häufig in AR-Brillen, optischen Linsen, Kameras, optischen Linsen, Filtern, der Halbleiterindustrie usw. verwendet.