GX600

Die Ausrüstung verfügt über eine vertikale Vordertürstruktur und Cluster-Anordnung.Es kann mit Verdampfungsquellen für Metalle und verschiedene organische Materialien ausgestattet werden und Siliziumwafer verschiedener Spezifikationen verdampfen.Ausgestattet mit einem Präzisionsausrichtungssystem ist die Beschichtung stabil und die Beschichtung weist eine gute Wiederholgenauigkeit auf.
GX600-Beschichtungsgeräte können organische lichtemittierende Materialien oder Metallmaterialien präzise, ​​gleichmäßig und kontrolliert auf das Substrat verdampfen.Es bietet die Vorteile einer einfachen Filmbildung, einer hohen Reinheit und einer hohen Kompaktheit.Das vollautomatische Echtzeitüberwachungssystem für die Filmdicke kann die Wiederholbarkeit und Stabilität des Prozesses gewährleisten.Es ist mit einer Selbstschmelzfunktion ausgestattet, um die Abhängigkeit von den Fähigkeiten des Bedieners zu verringern.
Die Ausrüstung kann auf Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti und andere Metallmaterialien angewendet werden und kann mit Metallfilm, dielektrischem Schichtfilm, IMD-Film usw. beschichtet werden. Sie wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie verwendet Industrie, wie z. B. Leistungsgeräte, Substratbeschichtung für Halbleiterrückseitenverpackungen usw.