Horizontale Produktionslinie für doppelseitige Halbleiterbeschichtung
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PRODUKTBESCHREIBUNG
Die Beschichtungslinie ist modular aufgebaut, wodurch die Kammer je nach Prozess- und Effizienzanforderungen vergrößert werden kann und beidseitig beschichtet werden kann, was flexibel und praktisch ist.Ausgestattet mit einem Ionenreinigungssystem, einem Schnellheizsystem und einem DC-Magnetron-Sputtersystem kann es einfache Metallbeschichtungen effizient aufbringen.Die Ausrüstung verfügt über einen schnellen Schlag, eine bequeme Klemmung und eine hohe Effizienz.
Die Beschichtungslinie ist mit einem Ionenreinigungs- und Hochtemperatur-Einbrennsystem ausgestattet, sodass die Haftung des abgeschiedenen Films besser ist.Das Kleinwinkelsputtern mit rotierendem Target ist günstig für die Abscheidung eines Films auf der Innenfläche einer kleinen Apertur.
1. Das Gerät hat eine kompakte Struktur und eine kleine Grundfläche.
2. Das Vakuumsystem ist mit einer Molekularpumpe zur Luftabsaugung bei geringem Energieverbrauch ausgestattet.
3. Die automatische Rückführung des Materialregals spart Arbeitskräfte.
4. Die Prozessparameter können zurückverfolgt werden und der Produktionsprozess kann im gesamten Prozess überwacht werden, um die Verfolgung von Produktionsfehlern zu erleichtern.
5. Die Beschichtungslinie verfügt über einen hohen Automatisierungsgrad.Es kann mit dem Manipulator verwendet werden, um die vorderen und hinteren Prozesse zu verbinden und die Arbeitskosten zu senken.
Es kann den Silberpastendruck im Kondensatorherstellungsprozess mit höherer Effizienz und geringeren Kosten ersetzen.
Es ist auf Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn und andere einfache Metalle anwendbar.Es wird häufig in elektronischen Halbleiterkomponenten wie Keramiksubstraten, Keramikkondensatoren, LED-Keramikträgern usw. verwendet.
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