Die Ausrüstung integriert Magnetronsputtern und Widerstandsverdampfungstechnologie und bietet eine Lösung für die Beschichtung einer Vielzahl unterschiedlicher Substrate.
Die experimentellen Beschichtungsgeräte werden hauptsächlich in Universitäten und wissenschaftlichen Forschungseinrichtungen eingesetzt und können eine Vielzahl experimenteller Anforderungen erfüllen.Für die Ausrüstung sind verschiedene Strukturziele vorgesehen, die flexibel konfiguriert werden können, um der wissenschaftlichen Forschung und Entwicklung in verschiedenen Bereichen gerecht zu werden.Es können ein Magnetron-Sputtersystem, ein Kathodenbogensystem, ein Elektronenstrahlverdampfungssystem, ein Widerstandsverdampfungssystem, CVD, PECVD, eine Ionenquelle, ein Vorspannungssystem, ein Heizsystem, eine dreidimensionale Vorrichtung usw. ausgewählt werden.Kunden können entsprechend ihren unterschiedlichen Bedürfnissen auswählen.
Die Geräte zeichnen sich durch ein schönes Aussehen, eine kompakte Struktur, eine kleine Grundfläche, einen hohen Automatisierungsgrad, eine einfache und flexible Bedienung, eine stabile Leistung und eine einfache Wartung aus.
Die Ausrüstung kann auf Kunststoff, Edelstahl, galvanisierte Hardware/Kunststoffteile, Glas, Keramik und andere Materialien angewendet werden.Es können einfache Metallschichten wie Titan, Chrom, Silber, Kupfer, Aluminium oder Metallverbindungsfilme wie TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC hergestellt werden.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |