1) Zylindrische Ziele haben eine höhere Auslastungsrate als planare Ziele.Unabhängig davon, ob es sich um ein rotierendes magnetisches Sputtertarget oder ein zylindrisches Drehrohr-Sputtertarget handelt, passieren beim Beschichtungsprozess alle Teile der Oberfläche des Targetrohrs kontinuierlich den Sputterbereich, der vor dem Permanentmagneten erzeugt wird, um Kathodenzerstäubung zu empfangen Das Target kann durch Sputtern gleichmäßig geätzt werden und die Targetausnutzungsrate ist hoch.Die Ausnutzungsrate der Zielmaterialien beträgt etwa 80 % bis 90 %.
2) Zylindrische Ziele führen nicht leicht zu einer „Zielvergiftung“.Während des Beschichtungsprozesses wird die Oberfläche des Targetrohrs ständig durch Ionen zerstäubt und geätzt, und es ist nicht einfach, dicke Oxide und andere Isolierfilme auf der Oberfläche anzusammeln, und es ist nicht einfach, eine „Zielvergiftung“ zu erzeugen.
3) Die Struktur des zylindrischen Sputtertargets mit rotierendem Targetrohr ist einfach und leicht zu installieren.
4) Das zylindrische Targetrohrmaterial gibt es in verschiedenen Ausführungen.Planares Target mit direkter Wasserkühlung aus Metalltarget, und einige zylindrische Targets, wie z. B. In2-SnO2-Targets usw., können nicht mit Pulvermaterial für heißisostatisches Pressen verarbeitet und geformt werden, um plattenartige Targets zu erhalten, da die Größe nicht hergestellt werden kann groß und spröde, daher ist es notwendig, eine Lötmethode und eine Kupferrückplatte zu verwenden, um sie zu integrieren und dann auf der Zielbasis zu installieren.Neben Metallrohren können auch säulenförmige Targets auf die Oberfläche von Edelstahlrohren mit verschiedenen zu beschichtenden Materialien wie Si, Cr usw. gesprüht werden.
Derzeit nimmt der Anteil zylindrischer Targets zur Beschichtung in der industriellen Produktion zu.Zylindrische Targets werden nicht nur für die vertikale Beschichtungsmaschine, sondern auch für die Rolle-zu-Rolle-Beschichtungsmaschine verwendet.In den letzten Jahren wurden die planaren Zwillingsziele schrittweise durch die zylindrischen Zwillingsziele ersetzt.
——Dieser Artikel wurde von Guangdong Zhenhua Technology, aHersteller von optischen Beschichtungsmaschinen.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 11. Mai 2023