Umweltanforderungen für Vakuumbeschichtungsgeräte

SeitVakuumbeschichtungsanlagenDa das Gerät unter Vakuumbedingungen arbeitet, muss es die Anforderungen des Vakuums an die Umgebung erfüllen.Die in meinem Land formulierten Industriestandards für verschiedene Arten von Vakuumbeschichtungsgeräten (einschließlich allgemeiner technischer Bedingungen für Vakuumbeschichtungsgeräte, Vakuumionenbeschichtungsgeräte, Vakuumsputterbeschichtungsgeräte und Vakuumverdampfungsbeschichtungsgeräte) legen klar Umweltanforderungen fest.Nur wenn die Umweltanforderungen der Vakuumbeschichtungsanlage erfüllt werden, kann die Anlage normal funktionieren und mit dem richtigen Beschichtungsprozess können die qualifizierten Beschichtungsprodukte hergestellt werden.

Zu den Anforderungen der Vakuumumgebung gehören im Allgemeinen die Anforderungen der Vakuumausrüstung an die Umgebung, wie z. B. die Temperatur des Labors (oder der Werkstatt), der geringe Gewinn in der Luft und die Anforderungen an Teile oder Oberflächen im Vakuumzustand oder in ein Vakuum.Diese beiden Aspekte hängen eng zusammen.Die Qualität der Umgebung wirkt sich direkt auf die normale Verwendung der Vakuumausrüstung aus, und ob die Vakuumkammer der Vakuumausrüstung oder die darin geladenen Teile gereinigt werden, wirkt sich direkt auf die Leistung der Ausrüstung aus.Wenn die Luft viel Wasserdampf und Staub enthält und die Vakuumkammer nicht gereinigt wurde, ist es schwierig, mit einer ölgedichteten mechanischen Pumpe zum Pumpen der Luft den gewünschten Vakuumgrad zu erreichen.Wie wir alle wissen, eignen sich ölgedichtete mechanische Pumpen nicht zum Pumpen von Gasen, die gegenüber Metallen korrosiv sind, chemisch gegenüber Vakuumöl reagieren und Partikelstaub enthalten.Wasserdampf ist ein kondensierbares Gas.Wenn die Pumpe eine große Menge kondensierbares Gas abpumpt, ist die Verschmutzung des Pumpenöls schwerwiegender.Dadurch sinkt das Endvakuum der Pumpe und die Pumpleistung der Pumpe wird zerstört.

Die normalen Arbeitsbedingungen von Vakuumbeschichtungsanlagen sind:

① Umgebungstemperatur 10~30℃;

② Die relative Luftfeuchtigkeit beträgt nicht mehr als 70 %;

③ Die Kühlwassereintrittstemperatur beträgt nicht mehr als 25 °C;

④ Kühlwasserqualität Stadtleitungswasser oder Wasser gleichwertiger Qualität;

⑤Stromversorgungsspannung: 380 V, dreiphasig 50 Hz oder 220 V, einphasig 50 Hz (je nach Bedarf der verwendeten Elektrogeräte), Spannungsschwankungsbereich 342–399 V oder 198–231 V, Frequenzschwankungsbereich 49–51 Hz;

⑥Druck, Temperatur und Verbrauch sollten in der Bedienungsanleitung des Produkts angegeben werden.

⑦ Die Umgebung des Geräts ist sauber und die Luft ist sauber, und es darf kein Staub oder Gas vorhanden sein, das Oberflächenkorrosion von Elektrogeräten und anderen Metallteilen verursachen oder eine elektrische Leitung zwischen Metallen verursachen könnte.

Darüber hinaus sollte das Labor oder die Werkstatt, in der sich die Vakuumbeschichtungsanlage befindet, sauber und hygienisch gehalten werden.Der Boden besteht aus Terrazzo oder lackiertem Holzboden und ist staubfrei.Um zu verhindern, dass das von der mechanischen Pumpe abgegebene Gas die Laborumgebung verunreinigt, kann es am Auslassanschluss der Pumpe verwendet werden.Installieren Sie ein Abgasrohr (Metall- oder Gummirohr) an der Oberfläche, um das Gas nach außen abzuleiten.