1. Thermische CVD-Technologie
Bei Hartbeschichtungen handelt es sich meist um Metall-Keramik-Beschichtungen (TiN etc.), die durch die Reaktion von Metall in der Beschichtung und reaktive Vergasung entstehen.Zunächst wurde die thermische CVD-Technologie verwendet, um die Aktivierungsenergie der Kombinationsreaktion durch thermische Energie bei einer hohen Temperatur von 1000 °C bereitzustellen.Diese Temperatur eignet sich nur zum Abscheiden von TiN und anderen harten Beschichtungen auf Hartmetallwerkzeugen.Bisher ist es immer noch eine wichtige Technologie, TiN-Al20-Verbundbeschichtungen auf Hartmetall-Werkzeugköpfen abzuscheiden.
2. Hohlkathoden-Ionenbeschichtung und Heißdraht-Lichtbogen-Ionenbeschichtung
In den 1980er Jahren wurden Hohlkathoden-Ionenbeschichtung und Heißdraht-Lichtbogen-Ionenbeschichtung zur Abscheidung beschichteter Schneidwerkzeuge eingesetzt.Bei beiden Ionenbeschichtungstechnologien handelt es sich um Lichtbogenentladungs-Ionenbeschichtungstechnologien mit einer Metallionisierungsrate von bis zu 20 % bis 40 %.
3. Kathodenbogen-Ionenbeschichtung
Das Aufkommen der kathodischen Lichtbogen-Ionenbeschichtung hat zur Entwicklung der Technologie zur Abscheidung harter Beschichtungen auf Formen geführt.Die Ionisationsrate der kathodischen Lichtbogen-Ionenbeschichtung beträgt 60 % bis 90 %, wodurch eine große Anzahl von Metallionen und Reaktionsgasionen die Oberfläche des Werkstücks erreichen und dennoch eine hohe Aktivität aufrechterhalten können, was zu einer Reaktionsabscheidung und der Bildung harter Beschichtungen wie z. B. führt Zinn.Derzeit wird die kathodische Lichtbogen-Ionenbeschichtungstechnologie hauptsächlich zur Abscheidung harter Beschichtungen auf Formen eingesetzt.
Die Kathodenlichtbogenquelle ist eine Festkörperverdampfungsquelle ohne festes Schmelzbad, und die Position der Lichtbogenquelle kann beliebig platziert werden, wodurch die Raumausnutzung des Beschichtungsraums verbessert und die Ofenladekapazität erhöht wird.Die Formen von Kathodenbogenquellen umfassen kleine kreisförmige Kathodenbogenquellen, säulenförmige Bogenquellen und rechteckige flache große Bogenquellen.Verschiedene Komponenten kleiner Lichtbogenquellen, säulenförmiger Lichtbogenquellen und großer Lichtbogenquellen können separat angeordnet werden, um Mehrschichtfilme und Nano-Mehrschichtfilme abzuscheiden.Aufgrund der hohen Metallionisierungsrate der kathodischen Lichtbogenionenbeschichtung können Metallionen mehr Reaktionsgase absorbieren, was zu einem breiten Prozessbereich und einem einfachen Betrieb führt, um hervorragende Hartbeschichtungen zu erhalten.Allerdings gibt es grobe Tröpfchen in der Mikrostruktur der Beschichtungsschicht, die durch kathodische Lichtbogen-Ionenbeschichtung erhalten wird.In den letzten Jahren wurden viele neue Technologien entwickelt, um die Struktur der Filmschicht zu verfeinern, was die Qualität des Lichtbogenionenbeschichtungsfilms verbessert hat.
——Dieser Artikel wurde von Guangdong Zhenhua Technology, aHersteller von optischen Beschichtungsmaschinen.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 28. April 2023