1. DieVakuumbedampfungsbeschichtungDer Prozess umfasst die Verdampfung von Filmmaterialien, den Transport von Dampfatomen im Hochvakuum sowie den Prozess der Keimbildung und des Wachstums von Dampfatomen auf der Oberfläche des Werkstücks.
2. Der Abscheidungsvakuumgrad der Vakuumverdampfungsbeschichtung ist hoch, im Allgemeinen 10-510-3Pa. Die freie Weglänge von Gasmolekülen liegt in der Größenordnung von 1 bis 10 m, was viel größer ist als der Abstand von der Verdampfungsquelle zum Werkstück. Dieser Abstand wird als Verdampfungsabstand bezeichnet und beträgt im Allgemeinen 300 bis 800 mm.Die Beschichtungspartikel kollidieren kaum mit Gasmolekülen und Dampfatomen und gelangen zum Werkstück.
3. Bei der Vakuumverdampfungsbeschichtung handelt es sich nicht um eine Wundbeschichtung, und die Dampfatome gelangen unter Hochvakuum direkt zum Werkstück.Nur die der Verdampfungsquelle zugewandte Seite des Werkstücks kann die Filmschicht erhalten, und die Seite und die Rückseite des Werkstücks können die Filmschicht kaum erhalten, und die Filmschicht weist eine schlechte Beschichtung auf.
4. Die Energie der Partikel der Vakuumverdampfungsschicht ist niedrig und die Energie, die das Werkstück erreicht, ist die durch die Verdampfung getragene Wärmeenergie.Da das Werkstück während der Vakuumverdampfungsbeschichtung nicht vorgespannt wird, sind die Metallatome während der Verdampfung nur auf die Verdampfungswärme angewiesen, die Verdampfungstemperatur beträgt 1000–2000 °C und die übertragene Energie entspricht 0,1–0,2 eV, also die Energie von Die Anzahl der Filmpartikel ist gering, die Bindungskraft zwischen der Filmschicht und der Matrix ist gering und es ist schwierig, eine Verbundbeschichtung zu bilden.
5. Die Vakuumverdampfungsbeschichtungsschicht weist eine feine Struktur auf.Der Vakuumverdampfungsplattierungsprozess wird unter Hochvakuum gebildet, und die Filmpartikel im Dampf liegen grundsätzlich im atomaren Maßstab vor und bilden einen feinen Kern auf der Oberfläche des Werkstücks.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 14.06.2023