Die Rolle verschiedener Vakuumpumpen im Vakuumsystem

Die Leistung verschiedener Vakuumpumpen weist neben der Fähigkeit, Vakuum in die Kammer zu pumpen, noch weitere Unterschiede auf.Daher ist es sehr wichtig, bei der Auswahl die von der Pumpe im Vakuumsystem geleistete Arbeit zu klären. Die Rolle der Pumpe in verschiedenen Arbeitsbereichen wird wie folgt zusammengefasst.

1、Die Hauptpumpe im System sein
Die Hauptpumpe ist die Vakuumpumpe, die die Pumpkammer des Vakuumsystems direkt pumpt, um den für die Prozessanforderungen erforderlichen Vakuumgrad zu erreichen.
2、Raupumpenpumpe
Eine Grobpumppumpe ist die Vakuumpumpe, die beginnt, den Luftdruck zu verringern, und der Druck des Vakuumsystems erreicht ein anderes Pumpsystem, das zu arbeiten beginnen kann.
3、Vorstufenpumpe
Eine Vorstufenpumpe ist eine Vakuumpumpe, die dazu dient, den Vorstufendruck einer anderen Pumpe unter ihrem höchstzulässigen Vorstufendruck zu halten.
4、Haltepumpe
Bei der Haltepumpe handelt es sich um eine Pumpe, die die Hauptvorstufenpumpe nicht effektiv nutzen kann, wenn die Pumpleistung des Vakuumsystems sehr gering ist.Aus diesem Grund wird im Vakuumsystem eine andere Art von Hilfsvorstufenpumpe mit geringerer Saugleistung verwendet, um die normale Arbeit der Hauptpumpe aufrechtzuerhalten oder den für den entleerten Behälter erforderlichen niedrigen Druck aufrechtzuerhalten.
5、Grobvakuumpumpe oder Niedrigvakuumpumpe
Eine Grob- oder Niedrigvakuumpumpe ist eine Vakuumpumpe, die von der Luft ausgeht und im Bereich eines niedrigen oder Grobvakuumdrucks arbeitet, nachdem der Druck des gepumpten Behälters reduziert wurde.
6、Hochvakuumpumpe
Unter Hochvakuumpumpe versteht man eine Vakuumpumpe, die im Hochvakuumbereich arbeitet.
7、Ultrahochvakuumpumpe
Unter Ultrahochvakuumpumpe versteht man eine Vakuumpumpe, die im Ultrahochvakuumbereich arbeitet.
8, Druckerhöhungspumpe
Unter Druckerhöhungspumpe versteht man üblicherweise die Vakuumpumpe, die zwischen der Niedervakuumpumpe und der Hochvakuumpumpe arbeitet, um die Pumpkapazität des Pumpsystems im mittleren Druckbereich zu erhöhen oder den Pumpratenbedarf der ersteren Pumpe zu verringern.

Einführung in den Ionenreiniger

Plasmareiniger
1. Plasma ist ein ionisiertes Gas, in dem die Dichten positiver Ionen und Elektronen ungefähr gleich sind.Es besteht aus Ionen, Elektronen, freien Radikalen und neutralen Teilchen.
2. Es ist der vierte Zustand der Materie.Da es sich bei Plasma um eine Kombination höherer Energie als bei Gas handelt, kann die Substanz in der Plasmaumgebung mehr physikalisch-chemische und andere Reaktionseigenschaften aufweisen.
3. Der Mechanismus der Plasmareinigungsmaschine basiert auf dem „Plasmazustand“ des „Aktivierungseffekts“ des Materials, um Oberflächenflecken zu entfernen.
4. Die Plasmareinigung ist unter allen Reinigungsverfahren auch die bodenloseste Reinigungsart.Es kann in großem Umfang in Halbleiter-, Mikroelektronik-, COG-, LCD-, LCM- und LED-Prozessen eingesetzt werden.
5. Präzisionsreinigung vor der Geräteverpackung, Vakuumelektronik, Steckverbindern und Relais, Solar-Photovoltaik-Industrie, Reinigung von Kunststoff-, Gummi-, Metall- und Keramikoberflächen, Ätzbehandlung, Veraschungsbehandlung, Oberflächenaktivierung und anderen Bereichen biowissenschaftlicher Experimente.