DerVakuumbeschichtungsanlagenbesteht aus vielen präzisen Teilen, die durch viele Prozesse wie Schweißen, Schleifen, Drehen, Hobeln, Bohren, Fräsen usw. hergestellt werden.Aufgrund dieser Arbeiten wird die Oberfläche der Geräteteile unweigerlich mit einigen Schadstoffen wie Fett, Ölschmutz, Metallspänen, Schweißflussmittel, Polierpaste, Schweißflecken usw. verunreinigt.Diese Schadstoffe verflüchtigen sich unter Vakuumbedingungen leicht und beeinträchtigen so das Endvakuum der Anlage.
Darüber hinaus absorbieren diese Vakuumschadstoffe aus der mechanischen Bearbeitung eine große Menge Gas in der Atmosphärendruckumgebung, und im Vakuumzustand werden diese zuvor adsorbierten Gase auch wieder freigesetzt, was zu einem wesentlichen Faktor für die Begrenzung des Grenzvakuums wird.Aus diesem Grund müssen die Schadstoffe vor dem Zusammenbau der Teile der Vakuumbeschichtungsmaschine entfernt werden.
Beim Einsatz von Vakuumgeräten werden auch deren Komponenten verunreinigt.Die Verschmutzung aus dieser Quelle wird jedoch hauptsächlich durch die Einsatzbedingungen und die Vakuumpumpe verursacht.
1. Die Verdampfung des Glühfadens des Vakuummeters unter Hochtemperaturbedingungen führt zur Bildung eines Films auf dem Keramikisolator, der seine Isolationsfestigkeit bis zu einem gewissen Grad beeinträchtigt und auch einen gewissen Einfluss auf die Genauigkeit hat Messung;
2. Aufgrund der Hochtemperaturverdampfung bildet sich im Vakuum ein Metallfilm auf der Oberfläche in der Nähe des Glühfadens der Elektronenkanone.
3. Durch das Sputtern des Werkstücks wird die Innenwand der Ionenstrahlätzanlage durch Spritzer verunreinigt;
4. Die Innenwand der Vakuumverdampfungsbeschichtungsanlage wird durch das Verdampfungszielmaterial verunreinigt;
5. Oft wird ein Vakuumtrocknungssystem verwendet, das durch die verdampften Substanzen verunreinigt wird.
6. Das Diffusionspumpenöl und das mechanische Pumpenöl in der Vakuumbeschichtungsanlage sind ebenfalls eine Hauptverschmutzungsquelle.Nach längerem Betrieb der Beschichtungsmaschine kann sich im Geräteinneren ein Ölfilm bilden.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Vakuumhygiene von Geräten Vakuumausrüstung, Vakuumsystem, Vakuumprozessproduktion und andere Aspekte und Zusammenhänge sowie die Anforderungen der Vakuumbeschichtungsausrüstung selbst und des speziellen Vakuumprozesses an die Einsatzbedingungen umfasst.Daher ist die Vakuumverschmutzung ein Problem, das Beachtung verdient, da diese Verschmutzung die Leistung der Geräte beeinträchtigt und auf eine regelmäßige oder jederzeitige Reinigung geachtet werden sollte.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 21. Februar 2023