Die Widerstandsverdampfungsquellenbeschichtung ist eine grundlegende Vakuumverdampfungsbeschichtungsmethode.„Verdampfung“ bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung dünner Filme, bei dem das Beschichtungsmaterial in der Vakuumkammer erhitzt und verdampft wird, so dass die Atome oder Moleküle des Materials verdampfen und von der Oberfläche entweichen, wodurch ein Dampfströmungsphänomen entsteht, das auf die Oberfläche trifft Substrat oder Substrat, und schließlich kondensiert, um einen festen Film zu bilden.
Das sogenannte Widerstandsverdampfungsquellen-Beschichtungsverfahren besteht darin, Tantal, Molybdän, Wolfram und andere Metalle mit hohem Schmelzpunkt zu verwenden, um eine geeignete Form der Verdampfungsquelle herzustellen, die mit zu verdampfenden Materialien beladen wird, die Luft durchströmen zu lassen, direkt zu erhitzen und Verdampfen Sie die verdampften Materialien oder geben Sie die zu verdampfenden Materialien zur indirekten Erwärmung und Verdampfung in Aluminiumoxid-, Berylliumoxid- und andere Tiegel.Dies ist die Widerstandserhitzungsverdampfungsmethode.
DerVakuumverdampfungsbeschichtungsmaschineDas Erhitzen und Verdampfen durch eine Widerstandsheizung bietet die Vorteile eines einfachen Aufbaus, niedriger Kosten und einer zuverlässigen Verwendung.Es kann zum Aufdampfen von Materialien mit niedrigem Schmelzpunkt verwendet werden, insbesondere für die Massenproduktion mit geringen Anforderungen an die Beschichtungsqualität.Bisher werden bei der Herstellung aluminisierter Spiegel noch zahlreiche Beschichtungsverfahren aus Widerstandserwärmung und Verdampfung eingesetzt.
Die Nachteile des Aufdampfbeschichtungsverfahrens mit Widerstandsverdampfungsquelle bestehen darin, dass die maximale Temperatur, die durch Erhitzen erreicht werden kann, begrenzt ist und auch die Lebensdauer der Heizung kurz ist.Um die Lebensdauer der Widerstandsverdampfungsquelle zu verbessern, hat die Gerätefabrik in den letzten Jahren das aus Bornitrid synthetisierte leitfähige Keramikmaterial mit langer Lebensdauer als Verdampfungsquelle übernommen.Laut einem japanischen Patentbericht können Materialien aus 20–30 % Bornitrid und feuerfeste Materialien verwendet werden, die damit verschmolzen werden können, um die Verdampfungsquelle (Tiegel) herzustellen, und seine Oberfläche mit einer Schicht aus Zirkonium mit 62 % beschichtet werden. ~82 %, der Rest sind Zirkonium-Silizium-Legierungsmaterialien.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 22. April 2023