Ionenbeschichtung bedeutet, dass die Reaktanten oder verdampften Materialien durch den Ionenbeschuss von Gasionen oder verdampften Materialien auf dem Substrat abgeschieden werden, während die verdampften Materialien dissoziiert oder Gas in einer Vakuumkammer entladen werden.Das technische Prinzip von Hohlkathoden-Hartbeschichtungsgeräten ist die Hohlkathoden-Ionenbeschichtung, bei der es sich um eine Hohlkathoden-Entladungsabscheidungstechnologie handelt.
Über das Prinzip der Hohlkathodenentladungsabscheidung: Die Hohlkathodenentladungsabscheidungstechnik verwendet eine heiße Kathodenentladung, um einen Plasmastrahl zu erzeugen, und die Kathode ist ein hohles Tantalrohr.Die Kathode und die Hilfsanode liegen nahe beieinander und sind die beiden Pole, die die Bogenentladung zünden.
Die Hohlkathodenentladungs-Aufdampfpistole zündet auf zwei Arten.
1, die Verwendung eines hochfrequenten elektrischen Feldes, das an die Kathoden-Tantalröhre angelegt wird, so dass die Kathoden-Tantalröhre das Argongas in Argonionen ionisiert und dann durch die Kathoden-Tantalröhre kontinuierlich mit Argonionen bombardiert wird, bis sich die Hitze erwärmt Mindesttemperaturstandard der Elektronenemission und Erzeugung eines Plasmaelektronenstrahls.
2, in der Hilfsanode und Kathode Tantalröhre zwischen dem Anlegen von etwa 300 V Gleichspannung, die Kathode Tantalröhre immer noch in das Argongas, in der 1Pa-10Pa Argongasdruck, die Hilfsanode und Kathode Tantalröhre Glimmentladung Phänomen, Die Erzeugung von Argon-Ionenbeschuss bombardiert ständig die Kathoden-Tantalröhre, bis die Kathoden-Tantalröhre bei einer Temperatur von 2300 K-2400 K eine große Anzahl von Elektronen emittiert, wird von „Glimmentladung“ auf „Bogenentladung“ umgestellt, diesmal ist die Spannung wie folgt niedrig wie 30V-60V, solange die Kathode und die Anode zwischen der Stromversorgung liegen, können Sie einen Plasma-Elektronenstrahl erzeugen.
Kathodische Beschichtungsanlage
1、Verbessern Sie die ursprüngliche Pistolenstruktur vom ursprünglichen Maximalstrom von 230 A auf 280 A.
2、Verbessern Sie die ursprüngliche Kühlsystemstruktur, von der ursprünglichen 4℃-Eiswassermaschinenkühlung bis zur Raumtemperatur-Kühlwasserkühlung, wodurch den Benutzern Stromkosten gespart werden.
3. Verbessern Sie die ursprüngliche mechanische Übertragungsstruktur und ändern Sie sie in eine magnetische Flüssigkeitsübertragungsstruktur. Hohe Temperaturen blockieren den rotierenden Rahmen nicht.
4, die effektive Beschichtungsfläche ￠ 650 x 1100, bietet Platz für 750 x 1250 x 600 übergroße Matrizen- und Zahnradhersteller von extra langen Räumnadeln mit einem sehr großen Volumen.
Die Hohlkathoden-Ionenbeschichtungsmaschine wird hauptsächlich zum Beschichten von Werkzeugen, Formen, großen Spiegelformen, Kunststoffformen, Wälzmessern und anderen Produkten verwendet.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 07.11.2022