RCW600

Diese Geräteserie nutzt Magnetron-Targets, um Beschichtungsmaterialien in nanometergroße Partikel umzuwandeln, die auf der Oberfläche von Substraten abgeschieden werden, um dünne Filme zu bilden.Der aufgerollte Film wird in die Vakuumkammer gelegt.Durch die elektrisch angetriebene Wickelstruktur nimmt ein Ende die Folie auf und das andere Ende legt die Folie ein.Es durchläuft weiterhin den Zielbereich und nimmt die Zielpartikel auf, um einen dichten Film zu bilden.
Charakteristisch:

1. Filmbildung bei niedriger Temperatur.Die Temperatur hat kaum Einfluss auf die Folie und führt zu keiner Verformung.Es eignet sich für Spulenfolien aus PET, PI und anderen Basismaterialien.
2. Die Filmdicke kann gestaltet werden.Durch Prozessanpassung können dünne oder dicke Schichten entworfen und abgeschieden werden.
3. Design mehrerer Zielstandorte, flexibler Prozess.Die gesamte Maschine kann mit acht Targets ausgestattet werden, die entweder als einfache Metalltargets oder als Verbund- und Oxidtargets verwendet werden können.Es können einschichtige Folien mit Einzelstruktur oder mehrschichtige Folien mit Verbundstruktur hergestellt werden.Der Prozess ist sehr flexibel.

Mit der Ausrüstung können elektromagnetische Abschirmfolien, flexible Leiterplattenbeschichtungen, verschiedene dielektrische Folien, mehrschichtige AR-Antireflexionsfolien, hochentspiegelte HR-Folien, Farbfolien usw. hergestellt werden kann durch einmalige Filmabscheidung abgeschlossen werden.
Die Ausrüstung kann einfache Metalltargets wie Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl usw. oder zusammengesetzte Targets wie SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO usw. aufnehmen.

Die Geräte sind klein, kompakt im Aufbau, haben eine kleine Grundfläche, einen geringen Energieverbrauch und sind flexibel anpassbar.Es eignet sich sehr gut für die Prozessforschung und -entwicklung oder die Massenproduktion kleiner Serien.