Ο πειραματικός εξοπλισμός επίστρωσης κυλίνδρου σε ρολό υιοθετεί την τεχνολογία επίστρωσης που συνδυάζει διασκορπισμό μαγνητρονίου και τόξο καθόδου, η οποία πληροί τις απαιτήσεις τόσο της συμπαγούς μεμβράνης όσο και του υψηλού ρυθμού ιονισμού.Ο εξοπλισμός είναι κατακόρυφης δομής και το σύστημα περιέλιξης του τεμαχίου εργασίας είναι κάθετα εγκατεστημένο στον θάλαμο κενού.Σχεδιασμός πόρτας πολλαπλών θαλάμων, η κάθοδος εγκαθίσταται στην πλαϊνή πόρτα, μπορούν να εγκατασταθούν έξι σετ πηγών καθόδου ή πηγών ιόντων και ο στόχος μπορεί να διατηρηθεί ή να αντικατασταθεί όταν ανοίξει η πόρτα.Ο εξοπλισμός μπορεί να πραγματοποιήσει επεξεργασία επιφάνειας του τεμαχίου εργασίας και επίστρωση πολλαπλών στρώσεων ταυτόχρονα για να πραγματοποιήσει την εναπόθεση μεμβράνης πολλαπλών στρώσεων.Κατάλληλο για διάφορα μεταλλικά ή σύνθετα υλικά επίστρωσης.
Ο εξοπλισμός έχει τα χαρακτηριστικά της όμορφης εμφάνισης, της συμπαγούς δομής, της μικρής επιφάνειας δαπέδου, του υψηλού βαθμού αυτοματισμού, της απλής και ευέλικτης λειτουργίας, της σταθερής απόδοσης και της εύκολης συντήρησης.Είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για χρήση σε εργαστήρια και κολέγια.Οι πελάτες μπορούν να επιλέξουν ανάλογα με τις διαφορετικές ανάγκες τους.
Προαιρετικά μοντέλα | Μέγεθος εξοπλισμού (πλάτος) |
RCW300 | 300 χλστ |