GX600

Ο εξοπλισμός υιοθετεί κάθετη δομή μπροστινής πόρτας και διάταξη συμπλέγματος.Μπορεί να εξοπλιστεί με πηγές εξάτμισης για μέταλλα και διάφορα οργανικά υλικά και μπορεί να εξατμίσει γκοφρέτες πυριτίου διαφόρων προδιαγραφών.Εξοπλισμένο με σύστημα ευθυγράμμισης ακριβείας, η επίστρωση είναι σταθερή και η επίστρωση έχει καλή επαναληψιμότητα.
Ο εξοπλισμός επίστρωσης GX600 μπορεί να εξατμίσει με ακρίβεια, ομοιόμορφα και ελεγχόμενα οργανικά υλικά που εκπέμπουν φως ή μεταλλικά υλικά στο υπόστρωμα.Έχει τα πλεονεκτήματα του απλού σχηματισμού μεμβράνης, της υψηλής καθαρότητας και της υψηλής συμπαγότητας.Το πλήρως αυτόματο σύστημα παρακολούθησης πάχους φιλμ σε πραγματικό χρόνο μπορεί να εξασφαλίσει την επαναληψιμότητα και τη σταθερότητα της διαδικασίας.Είναι εξοπλισμένο με λειτουργία αυτόματης τήξης για μείωση της εξάρτησης από τις δεξιότητες του χειριστή.
Ο εξοπλισμός μπορεί να εφαρμοστεί σε Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti και άλλα μεταλλικά υλικά και μπορεί να επικαλυφθεί με μεταλλική μεμβράνη, φιλμ διηλεκτρικού στρώματος, φιλμ IMD κ.λπ. χρησιμοποιείται κυρίως στον ημιαγωγό βιομηχανία, όπως συσκευές ισχύος, επίστρωση υποστρώματος πίσω συσκευασίας ημιαγωγών κ.λπ.