HFCVD0606

Ο θάλαμος επικάλυψης κενού του εξοπλισμού εναπόθεσης χημικών ατμών υιοθετεί μια ανεξάρτητη δομή υδρόψυξης διπλής στρώσης, η οποία είναι αποτελεσματική και ομοιόμορφη στην ψύξη και έχει μια ασφαλή και σταθερή δομή.Ο εξοπλισμός έχει σχεδιαστεί με διπλές πόρτες, πολλαπλά παράθυρα παρατήρησης και πολλαπλές διεπαφές επέκτασης, που είναι βολικό για εξωτερική σύνδεση βοηθητικών περιφερειακών όπως μέτρηση υπέρυθρης θερμοκρασίας, φασματική ανάλυση, παρακολούθηση βίντεο και θερμοστοιχείο.Η προηγμένη σχεδίαση καθιστά την καθημερινή γενική επισκευή και συντήρηση, την αλλαγή διαμόρφωσης και την αναβάθμιση του εξοπλισμού εύκολη και απλή και μειώνει αποτελεσματικά το κόστος χρήσης και αναβάθμισης.

Χαρακτηριστικά εξοπλισμού:

1. Τα εξαρτήματα φουσκώματος του εξοπλισμού περιλαμβάνουν κυρίως μετρητή ροής μάζας, ηλεκτρομαγνητική βαλβίδα και δεξαμενή ανάμιξης αερίου, που εξασφαλίζουν τον ακριβή έλεγχο της ροής αερίου διεργασίας, ομοιόμορφη ανάμειξη και ασφαλή απομόνωση διαφορετικών αερίων και μπορούν να επιλέξουν εξαρτήματα συστήματος αερίου για τη χρήση πηγή υγρού αερίου, διευκολύνουν την εξατομικευμένη επιλογή μιας ευρείας σειράς πηγών υγρού άνθρακα και την ασφαλή χρήση πηγών υγρού βορίου συνθετικού αγώγιμου διαμαντιού και ηλεκτροδίων.
2.Το συγκρότημα εξαγωγής αέρα είναι εξοπλισμένο με μια αθόρυβη και αποτελεσματική περιστροφική αντλία κενού με πτερύγια και ένα σύστημα μοριακής αντλίας στροβίλου που μπορεί να ανταποκριθεί γρήγορα στο περιβάλλον υποβάθρου υψηλού κενού.Το σύνθετο μετρητή κενού με μετρητή αντίστασης και μετρητή ιονισμού χρησιμοποιείται για τη μέτρηση κενού, καθώς και το σύστημα μετρητή χωρητικής μεμβράνης που μπορεί να μετρήσει την πίεση διαφορετικών αερίων διεργασίας σε ένα ευρύ φάσμα.Η πίεση εναπόθεσης ελέγχεται πλήρως αυτόματα από αναλογική βαλβίδα ελέγχου υψηλής ακρίβειας.
3.Το συστατικό του νερού ψύξης είναι εξοπλισμένο με πολυκαναλική πίεση νερού, ροή, μέτρηση θερμοκρασίας και αυτόματη παρακολούθηση λογισμικού.Τα διαφορετικά εξαρτήματα ψύξης είναι ανεξάρτητα μεταξύ τους, κάτι που είναι βολικό για γρήγορη διάγνωση σφαλμάτων.Όλοι οι κλάδοι διαθέτουν ανεξάρτητους διακόπτες βαλβίδων, κάτι που είναι ασφαλές και αποτελεσματικό.
4. Τα ηλεκτρικά εξαρτήματα ελέγχου υιοθετούν την οθόνη LCD διεπαφής ανθρώπου-μηχανής μεγάλου μεγέθους και συνεργάζονται με τον πλήρως αυτόματο έλεγχο PLC για να διευκολύνουν την επεξεργασία και την εισαγωγή του τύπου διαδικασίας.Η γραφική καμπύλη εμφανίζει οπτικά τις αλλαγές και τις τιμές διαφόρων παραμέτρων και οι παράμετροι του εξοπλισμού και της διαδικασίας καταγράφονται και αρχειοθετούνται αυτόματα για να διευκολυνθεί η ανίχνευση προβλημάτων και η στατιστική ανάλυση δεδομένων.
5. Η σχάρα τεμαχίου εργασίας είναι εξοπλισμένη με έναν σερβοκινητήρα για τον έλεγχο της ανύψωσης και του κατεβάσματος του τραπεζιού υποστρώματος.Μπορεί να επιλεγεί ο πίνακας υποστρώματος γραφίτη ή κόκκινου χαλκού.Η θερμοκρασία μετριέται με θερμοστοιχείο.
6.Τα εξαρτήματα ραφιών μπορούν να σχεδιαστούν στο σύνολό τους ή χωριστά σύμφωνα με τις απαιτήσεις των πελατών για να ικανοποιήσουν τις ειδικές απαιτήσεις χειρισμού των πελατών.
7.Τα εξαρτήματα της πλάκας σφράγισης είναι όμορφα και κομψά.Οι πλάκες στεγανοποίησης σε διαφορετικές περιοχές λειτουργικών μονάδων του εξοπλισμού μπορούν να αποσυναρμολογηθούν γρήγορα ή να ανοίξουν και να κλείσουν ανεξάρτητα, κάτι που είναι πολύ βολικό στη χρήση.

Ο εξοπλισμός CVD με θερμό νήμα είναι κατάλληλος για την εναπόθεση υλικών διαμαντιού, συμπεριλαμβανομένης της επίστρωσης λεπτής μεμβράνης, της αυτοφερόμενης παχιάς μεμβράνης, του μικροκρυσταλλικού και νανοκρυσταλλικού διαμαντιού, του αγώγιμου διαμαντιού κ.λπ. Χρησιμοποιείται κυρίως για ανθεκτική στη φθορά προστατευτική επίστρωση εργαλείων κοπής με τσιμέντο καρβιδίου, υλικών ημιαγωγών όπως πυρίτιο και καρβίδιο του πυριτίου, επίστρωση διαρροής θερμότητας συσκευών, ηλεκτρόδιο αγώγιμου διαμαντιού με πρόσμιξη βορίου, απολύμανση με όζον του ηλεκτρολυτικού νερού ή επεξεργασίας λυμάτων.