1) Οι κυλινδρικοί στόχοι έχουν υψηλότερο ποσοστό χρησιμοποίησης από τους επίπεδους στόχους.Στη διαδικασία επίστρωσης, είτε πρόκειται για περιστροφικό μαγνητικό τύπο είτε για κυλινδρικό στόχο με περιστροφικό σωλήνα, όλα τα μέρη της επιφάνειας του σωλήνα στόχου περνούν συνεχώς μέσα από την περιοχή επιμετάλλωσης που δημιουργείται μπροστά από τον μόνιμο μαγνήτη για να δεχτεί την καθοδική επιμετάλλωση. Ο στόχος μπορεί να είναι ομοιόμορφα διασκορπισμένος και ο ρυθμός χρήσης του στόχου είναι υψηλός.Το ποσοστό χρήσης των υλικών-στόχων είναι περίπου 80%~90%.
2) Κυλινδρικοί στόχοι δεν θα είναι εύκολο να παραγάγουν «δηλητηρίαση στόχου».Κατά τη διαδικασία επικάλυψης, η επιφάνεια του σωλήνα στόχου είναι πάντα διασκορπισμένη και χαραγμένη από ιόντα και δεν είναι εύκολο να συσσωρεύονται παχιά οξείδια και άλλα μονωτικά φιλμ στην επιφάνεια και δεν είναι εύκολο να προκληθεί «δηλητηρίαση στόχου».
3) Η δομή του κυλινδρικού στόχου εκτόξευσης τύπου περιστροφικού σωλήνα στόχου είναι απλή και εύκολη στην εγκατάσταση.
4) Το υλικό του κυλινδρικού σωλήνα στόχου έχει διάφορους τύπους.επίπεδος στόχος με μεταλλικό στόχο άμεση ψύξη νερού, και μερικοί δεν μπορούν να υποστούν επεξεργασία και να σχηματιστούν κυλινδρικοί στόχοι, όπως στόχος In2-SnO2 κ.λπ. με υλικό σκόνης για θερμή ισοστατική πίεση για να ληφθούν στόχοι σαν πλάκες, επειδή το μέγεθος δεν μπορεί να γίνει μεγάλο και εύθραυστο, επομένως είναι απαραίτητο να χρησιμοποιήσετε τη μέθοδο συγκόλλησης και τη χάλκινη πλάκα για την ενσωμάτωση και στη συνέχεια την εγκατάσταση στη βάση στόχου.Εκτός από μεταλλικούς σωλήνες, στην επιφάνεια των ανοξείδωτων σωλήνων μπορούν να ψεκαστούν και στηλοειδείς στόχοι με διάφορα υλικά που πρέπει να επικαλυφθούν, όπως Si, Cr κ.λπ.
Επί του παρόντος, το ποσοστό των κυλινδρικών στόχων για επικάλυψη στη βιομηχανική παραγωγή αυξάνεται.Οι κυλινδρικοί στόχοι δεν χρησιμοποιούνται μόνο για το μηχάνημα κάθετης επίστρωσης αλλά χρησιμοποιούνται επίσης στη μηχανή επίστρωσης από ρολό σε ρολό.Τα τελευταία χρόνια οι επίπεδοι δίδυμοι στόχοι αντικαθίστανται σταδιακά από τους Κυλινδρικούς δίδυμους στόχους.
——Αυτό το άρθρο κυκλοφόρησε από την Guangdong Zhenhua Technology, aκατασκευαστής μηχανών οπτικής επίστρωσης.
Ώρα δημοσίευσης: 11 Μαΐου 2023