1.Χαρακτηριστικά της ροής ηλεκτρονίων φωτός τόξου
Η πυκνότητα της ροής ηλεκτρονίων, της ροής ιόντων και των ουδέτερων ατόμων υψηλής ενέργειας στο πλάσμα τόξου που δημιουργείται από την εκκένωση τόξου είναι πολύ υψηλότερη από εκείνη της εκκένωσης λάμψης.Υπάρχουν περισσότερα ιόντα αερίου και ιόντα μετάλλου ιονισμένα, διεγερμένα άτομα υψηλής ενέργειας και διάφορες ενεργές ομάδες στον χώρο επικάλυψης, που παίζουν σημαντικό ρόλο στα στάδια θέρμανσης, καθαρισμού και επίστρωσης της διαδικασίας επίστρωσης.Η μορφή δράσης της ροής ηλεκτρονίων τόξου είναι διαφορετική από εκείνη της δέσμης ιόντων, οι οποίες δεν συγκλίνουν όλες σε μια «δέσμη», αλλά κυρίως σε μια αποκλίνουσα κατάσταση, επομένως ονομάζεται ροή ηλεκτρονίων τόξου.Επειδή τα ηλεκτρόνια τόξου ρέουν προς την άνοδο, η ροή ηλεκτρονίων τόξου κατευθύνεται όπου είναι συνδεδεμένο το θετικό ηλεκτρόδιο του τροφοδοτικού τόξου και η άνοδος μπορεί να είναι ένα τεμάχιο εργασίας, βοηθητική άνοδος, χωνευτήριο κ.λπ.
2.Μέθοδος δημιουργίας ροής ηλεκτρονίων τόξου
(1) Η πηγή αερίου δημιουργεί ροή ηλεκτρονίων τόξου: το ρεύμα τόξου της εκκένωσης τόξου κοίλου καθόδου και της εκκένωσης τόξου θερμού καλωδίου μπορεί να φτάσει περίπου τα 200A και η τάση τόξου είναι 50-70V.
(2) Η στερεά πηγή δημιουργεί ροή ηλεκτρονίων τόξου: πηγή τόξου καθόδου, συμπεριλαμβανομένης της πηγής μικρού τόξου, πηγής κυλινδρικού τόξου, ορθογώνιου επιπέδου πηγής μεγάλου τόξου, κ.λπ. Το ρεύμα τόξου κάθε εκφόρτισης πηγής τόξου καθόδου είναι 80-200A και η τάση τόξου είναι 18-25V.
Η ροή ηλεκτρονίων τόξου υψηλής πυκνότητας και χαμηλής ενέργειας σε δύο τύπους πλάσματος εκκένωσης τόξου μπορεί να προκαλέσει έντονο ιονισμό σύγκρουσης με άτομα αερίου και μεταλλικού φιλμ, λαμβάνοντας περισσότερα ιόντα αερίου, μεταλλικά ιόντα και διάφορα ενεργά άτομα και ομάδες υψηλής ενέργειας, βελτιώνοντας έτσι τη συνολική δραστηριότητα των ιόντων του στρώματος του φιλμ.
– Αυτό το άρθρο κυκλοφόρησε από τον Guangdong Zhenhua, aκατασκευαστής μηχανής επίστρωσης κενού
Ώρα δημοσίευσης: 31 Μαΐου 2023