① Καλή δυνατότητα ελέγχου και επαναληψιμότητα του πάχους του φιλμ
Το αν το πάχος του φιλμ μπορεί να ελεγχθεί σε μια προκαθορισμένη τιμή ονομάζεται δυνατότητα ελέγχου πάχους φιλμ.Το απαιτούμενο πάχος μεμβράνης μπορεί να επαναληφθεί πολλές φορές, το οποίο ονομάζεται επαναληψιμότητα του πάχους του φιλμ. Επειδή το ρεύμα εκφόρτισης και το ρεύμα στόχου της επίστρωσης εκτόξευσης κενού μπορούν να ελεγχθούν ξεχωριστά.Επομένως, το πάχος της διασκορπισμένης μεμβράνης είναι ελεγχόμενο και η μεμβράνη με προκαθορισμένο πάχος μπορεί να αποτεθεί αξιόπιστα.Επιπλέον, η επίστρωση διασκορπισμού μπορεί να αποκτήσει ένα φιλμ με ομοιόμορφο πάχος σε μεγάλη επιφάνεια.
② Ισχυρή πρόσφυση μεταξύ φιλμ και υποστρώματος
Η ενέργεια των διασκορπισμένων ατόμων είναι 1-2 τάξεις μεγέθους μεγαλύτερη από αυτή των εξατμιζόμενων ατόμων.Η ενεργειακή μετατροπή των υψηλής ενέργειας διασκορπισμένων ατόμων που εναποτίθενται στο υπόστρωμα είναι πολύ υψηλότερη από αυτή των εξατμιζόμενων ατόμων, η οποία παράγει υψηλότερη θερμότητα και ενισχύει την πρόσφυση μεταξύ των διασκορπισμένων ατόμων και του υποστρώματος.Επιπρόσθετα, ορισμένα άτομα υψηλής ενέργειας που εκτοξεύονται παράγουν διαφορετικούς βαθμούς έγχυσης, σχηματίζοντας ένα στρώμα ψευδοδιάχυσης στο υπόστρωμα.Επιπλέον, το υπόστρωμα καθαρίζεται και ενεργοποιείται πάντα στην περιοχή του πλάσματος κατά τη διαδικασία σχηματισμού μεμβράνης, η οποία αφαιρεί τα άτομα εκτόξευσης με ασθενή πρόσφυση και καθαρίζει και ενεργοποιεί την επιφάνεια του υποστρώματος.Επομένως, η διασκορπισμένη μεμβράνη έχει ισχυρή πρόσφυση στο υπόστρωμα.
③ Μπορεί να παρασκευαστεί νέα μεμβράνη υλικού διαφορετική από το στόχο
Εάν εισαχθεί αντιδραστικό αέριο κατά τη διάρκεια της εκτόξευσης για να αντιδράσει με τον στόχο, μπορεί να ληφθεί μια νέα μεμβράνη υλικού εντελώς διαφορετική από τον στόχο.Για παράδειγμα, το πυρίτιο χρησιμοποιείται ως στόχος εκτόξευσης και το οξυγόνο και το αργό τοποθετούνται στον θάλαμο κενού μαζί.Μετά την εκτόξευση, μπορεί να ληφθεί μονωτική μεμβράνη SiOz.Χρησιμοποιώντας τιτάνιο ως στόχο διασκορπισμού, το άζωτο και το αργό τοποθετούνται στον θάλαμο κενού μαζί και μπορεί να ληφθεί η χρυσή μεμβράνη φάσης TiN μετά την εκτόξευση.
④ Υψηλή καθαρότητα και καλή ποιότητα φιλμ
Δεδομένου ότι δεν υπάρχει συστατικό χωνευτηρίου στη συσκευή προετοιμασίας μεμβράνης διασκορπισμού, τα συστατικά του θερμαντικού υλικού του χωνευτηρίου δεν θα αναμειγνύονται στη στρώση μεμβράνης ψεκασμού.Τα μειονεκτήματα της επίστρωσης με ψεκασμό είναι ότι η ταχύτητα σχηματισμού μεμβράνης είναι μικρότερη από αυτή της επίστρωσης εξάτμισης, η θερμοκρασία του υποστρώματος είναι υψηλότερη, είναι εύκολο να επηρεαστεί από ακαθαρσίες και η δομή της συσκευής είναι πιο περίπλοκη.
Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται από την Guangdong Zhenhua, κατασκευαστή τουεξοπλισμός επίστρωσης κενού
Ώρα δημοσίευσης: Mar-09-2023