1. Η προκατάληψη του τεμαχίου εργασίας είναι χαμηλή
Λόγω της προσθήκης μιας συσκευής για την αύξηση του ρυθμού ιονισμού, η πυκνότητα του ρεύματος εκφόρτισης αυξάνεται και η τάση πόλωσης μειώνεται στα 0,5~1 kV.
Οι οπισθοπορείες που προκαλούνται από τον υπερβολικό βομβαρδισμό ιόντων υψηλής ενέργειας και την επίδραση ζημιάς στην επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας μειώνονται.
2. Αυξημένη πυκνότητα πλάσματος
Έχουν προστεθεί διάφορα μέτρα για την προώθηση του ιονισμού σύγκρουσης και ο ρυθμός ιονισμού μετάλλων έχει αυξηθεί από 3% σε περισσότερο από 15%.Η πυκνότητα των ιόντων του πηγουνιού και των ουδέτερων ατόμων υψηλής ενέργειας, των ιόντων αζώτου, των ενεργών ατόμων υψηλής ενέργειας και των ενεργών ομάδων στον θάλαμο επικάλυψης αυξάνεται, γεγονός που ευνοεί την αντίδραση σχηματισμού ενώσεων.Οι παραπάνω διάφορες τεχνολογίες επίστρωσης ιόντων βελτιωμένης εκκένωσης λάμψης μπόρεσαν να λάβουν στρώματα σκληρού φιλμ TN με εναπόθεση αντίδρασης σε υψηλότερες πυκνότητες πλάσματος, αλλά επειδή ανήκουν στον τύπο εκκένωσης λάμψης, η πυκνότητα ρεύματος εκκένωσης δεν είναι αρκετά υψηλή (ακόμα επίπεδο mA/cm2 ), και η συνολική πυκνότητα πλάσματος δεν είναι αρκετά υψηλή και η διαδικασία επικάλυψης της ένωσης απόθεσης αντίδρασης είναι δύσκολη.
3. Το εύρος επικάλυψης της σημειακής πηγής εξάτμισης είναι μικρό
Διάφορες τεχνολογίες βελτιωμένης επίστρωσης ιόντων χρησιμοποιούν πηγές εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων και το gantu ως σημειακή πηγή εξάτμισης, το οποίο περιορίζεται σε ένα ορισμένο διάστημα πάνω από το gantu για εναπόθεση αντίδρασης, επομένως η παραγωγικότητα είναι χαμηλή, η διαδικασία είναι δύσκολη και είναι δύσκολο να βιομηχανοποιηθεί.
4. Ηλεκτρονικό πιστόλι λειτουργία υψηλής πίεσης
Η τάση του όπλου ηλεκτρονίων είναι 6~30kV και η τάση πόλωσης του τεμαχίου εργασίας είναι 0,5~3kV, η οποία ανήκει στη λειτουργία υψηλής τάσης και έχει ορισμένους κινδύνους ασφαλείας.
——Αυτό το άρθρο κυκλοφόρησε από την Guangdong Zhenhua Technology, aκατασκευαστής μηχανών οπτικής επίστρωσης.
Ώρα δημοσίευσης: Μάιος-12-2023