1. Ο ρυθμός εξάτμισης θα επηρεάσει τις ιδιότητες της εξατμισμένης επίστρωσης
Ο ρυθμός εξάτμισης έχει μεγάλη επίδραση στο εναποτιθέμενο φιλμ.Επειδή η δομή επικάλυψης που σχηματίζεται από το χαμηλό ρυθμό εναπόθεσης είναι χαλαρή και είναι εύκολο να παραχθεί απόθεση μεγάλων σωματιδίων, είναι πολύ ασφαλές να επιλέξετε υψηλότερο ρυθμό εξάτμισης για να διασφαλίσετε τη συμπαγή δομή της επικάλυψης.Όταν η πίεση του υπολειμματικού αερίου στον θάλαμο κενού είναι σταθερή, ο ρυθμός βομβαρδισμού του υποστρώματος είναι μια σταθερή τιμή.Επομένως, το υπολειμματικό αέριο που περιέχεται στο εναποτιθέμενο φιλμ μετά την επιλογή υψηλότερου ρυθμού εναπόθεσης θα μειωθεί, μειώνοντας έτσι τη χημική αντίδραση μεταξύ των υπολειμματικών μορίων αερίου και των σωματιδίων του εξατμισμένου φιλμ.Επομένως, η καθαρότητα του εναποτιθέμενου φιλμ μπορεί να βελτιωθεί.Θα πρέπει να σημειωθεί ότι εάν ο ρυθμός εναπόθεσης είναι πολύ γρήγορος, μπορεί να αυξήσει την εσωτερική πίεση του φιλμ, να αυξήσει τα ελαττώματα στο φιλμ και ακόμη και να οδηγήσει σε ρήξη του φιλμ.Ειδικότερα, κατά τη διαδικασία της επιμετάλλωσης με αντιδραστική εξάτμιση, για να αντιδράσει πλήρως το αέριο της αντίδρασης με τα σωματίδια του υλικού της μεμβράνης εξάτμισης, μπορείτε να επιλέξετε χαμηλότερο ρυθμό εναπόθεσης.Φυσικά, διαφορετικά υλικά επιλέγουν διαφορετικούς ρυθμούς εξάτμισης.Ως πρακτικό παράδειγμα– η εναπόθεση του ανακλαστικού φιλμ, Εάν το πάχος του φιλμ είναι 600×10-8 cm και ο χρόνος εξάτμισης είναι 3 δευτερόλεπτα, η ανακλαστικότητα είναι 93%.Ωστόσο, εάν ο ρυθμός εξάτμισης επιβραδύνεται κάτω από την ίδια κατάσταση πάχους, χρειάζονται 10 λεπτά για να ολοκληρωθεί η εναπόθεση του φιλμ.Αυτή τη στιγμή, το πάχος του φιλμ είναι το ίδιο.Ωστόσο, η ανακλαστικότητα έχει πέσει στο 68%.
2. Η θερμοκρασία του υποστρώματος θα επηρεάσει την επίστρωση εξάτμισης
Η θερμοκρασία του υποστρώματος έχει μεγάλη επίδραση στην επίστρωση εξάτμισης.Τα υπολειμματικά μόρια αερίου που προσροφούνται στην επιφάνεια του υποστρώματος σε υψηλή θερμοκρασία υποστρώματος αφαιρούνται εύκολα.Ιδιαίτερα η αποβολή των μορίων υδρατμών είναι πιο σημαντική.Επιπλέον, σε υψηλότερες θερμοκρασίες, δεν είναι μόνο εύκολο να προωθηθεί ο μετασχηματισμός από φυσική προσρόφηση σε χημική προσρόφηση, αυξάνοντας έτσι τη δεσμευτική δύναμη μεταξύ των σωματιδίων.Επιπλέον, μπορεί επίσης να μειώσει τη διαφορά μεταξύ της θερμοκρασίας ανακρυστάλλωσης των μορίων ατμού και της θερμοκρασίας του υποστρώματος, μειώνοντας ή εξαλείφοντας έτσι την εσωτερική πίεση στη διεπιφάνεια που βασίζεται σε φιλμ.Επιπλέον, επειδή η θερμοκρασία του υποστρώματος σχετίζεται με την κρυσταλλική κατάσταση της μεμβράνης, είναι συχνά εύκολο να σχηματιστούν άμορφες ή μικροκρυσταλλικές επικαλύψεις υπό συνθήκες χαμηλής θερμοκρασίας υποστρώματος ή μη θέρμανσης.Αντίθετα, όταν η θερμοκρασία είναι υψηλή, είναι εύκολο να σχηματιστεί κρυσταλλική επίστρωση.Η αύξηση της θερμοκρασίας του υποστρώματος συμβάλλει επίσης στη βελτίωση των μηχανικών ιδιοτήτων της επίστρωσης.Φυσικά, η θερμοκρασία του υποστρώματος δεν πρέπει να είναι πολύ υψηλή για να αποφευχθεί η εξάτμιση της επίστρωσης.
3. Η υπολειπόμενη πίεση αερίου στον θάλαμο κενού θα επηρεάσει τις ιδιότητες του φιλμ
Η πίεση του υπολειμματικού αερίου στον θάλαμο κενού έχει μεγάλη επίδραση στην απόδοση της μεμβράνης.Τα υπολειμματικά μόρια αερίου με πολύ υψηλή πίεση δεν είναι μόνο εύκολο να συγκρουστούν με τα σωματίδια που εξατμίζονται, γεγονός που θα μειώσει την κινητική ενέργεια των ανθρώπων στο υπόστρωμα και θα επηρεάσει την πρόσφυση του φιλμ.Επιπλέον, η πολύ υψηλή υπολειμματική πίεση αερίου θα επηρεάσει σοβαρά την καθαρότητα της μεμβράνης και θα μειώσει την απόδοση της επίστρωσης.
4. Επίδραση θερμοκρασίας εξάτμισης στην επίστρωση εξάτμισης
Η επίδραση της θερμοκρασίας εξάτμισης στην απόδοση της μεμβράνης φαίνεται από την αλλαγή του ρυθμού εξάτμισης με τη θερμοκρασία.Όταν η θερμοκρασία εξάτμισης είναι υψηλή, η θερμότητα της εξάτμισης θα μειωθεί.Εάν το υλικό της μεμβράνης εξατμιστεί πάνω από τη θερμοκρασία εξάτμισης, ακόμη και μια μικρή αλλαγή στη θερμοκρασία μπορεί να προκαλέσει απότομη αλλαγή στον ρυθμό εξάτμισης του υλικού της μεμβράνης.Επομένως, είναι πολύ σημαντικό να ελέγχεται η θερμοκρασία εξάτμισης με ακρίβεια κατά την εναπόθεση του φιλμ για να αποφευχθεί η μεγάλη διαβάθμιση θερμοκρασίας όταν θερμαίνεται η πηγή εξάτμισης.Για το υλικό φιλμ που είναι εύκολο να εξαχνωθεί, είναι επίσης πολύ σημαντικό να επιλέξετε το ίδιο το υλικό ως θερμαντήρα για εξάτμιση και άλλα μέτρα.
5. Η κατάσταση καθαρισμού του υποστρώματος και του θαλάμου επικάλυψης θα επηρεάσει την απόδοση της επίστρωσης
Η επίδραση της καθαρότητας του υποστρώματος και του θαλάμου επίστρωσης στην απόδοση της επίστρωσης δεν μπορεί να αγνοηθεί.Όχι μόνο θα επηρεάσει σοβαρά την καθαρότητα του εναποτιθέμενου φιλμ, αλλά και θα μειώσει την πρόσφυση του φιλμ.Επομένως, ο καθαρισμός του υποστρώματος, η επεξεργασία καθαρισμού του θαλάμου επικάλυψης κενού και των σχετικών εξαρτημάτων του (όπως το πλαίσιο του υποστρώματος) και η απαέρωση της επιφάνειας είναι όλες απαραίτητες διαδικασίες στη διαδικασία επικάλυψης κενού.
Ώρα δημοσίευσης: Φεβ-28-2023