Η τεχνολογία εναπόθεσης χημικών ατμών πλάσματος ενισχυμένου τόξου θερμού σύρματος χρησιμοποιεί το πιστόλι τόξου θερμού σύρματος για την εκπομπή πλάσματος τόξου, που συντομεύεται ως τεχνολογία PECVD τόξου θερμού σύρματος.Αυτή η τεχνολογία είναι παρόμοια με την τεχνολογία επίστρωσης ιόντων πιστολιού τόξου θερμού σύρματος, αλλά η διαφορά είναι ότι το στερεό φιλμ που λαμβάνεται από την επίστρωση ιόντων με πιστόλι τόξου θερμού σύρματος χρησιμοποιεί τη ροή ηλεκτρονίων φωτός τόξου που εκπέμπεται από το πιστόλι τόξου θερμού σύρματος για να θερμάνει και να εξατμίσει το μέταλλο στο το χωνευτήριο, ενώ το θερμό συρμάτινο τόξο φως PECVD τροφοδοτείται με αέρια αντίδρασης, όπως CH4 και H2, τα οποία χρησιμοποιούνται για την εναπόθεση μεμβρανών διαμαντιού.Βασιζόμενοι στο ρεύμα εκκένωσης τόξου υψηλής πυκνότητας που εκπέμπεται από το πιστόλι τόξου θερμού σύρματος, τα αντιδρώντα ιόντα αερίου διεγείρονται για να λάβουν διάφορα ενεργά σωματίδια, συμπεριλαμβανομένων ιόντων αερίου, ατομικών ιόντων, ενεργών ομάδων κ.λπ.
Στη συσκευή PECVD τόξου θερμού σύρματος, δύο ηλεκτρομαγνητικά πηνία εξακολουθούν να είναι εγκατεστημένα έξω από το δωμάτιο επικάλυψης, προκαλώντας την περιστροφή της ροής ηλεκτρονίων υψηλής πυκνότητας κατά την κίνηση προς την άνοδο, αυξάνοντας την πιθανότητα σύγκρουσης και ιονισμού μεταξύ της ροής ηλεκτρονίων και του αερίου αντίδρασης .Το ηλεκτρομαγνητικό πηνίο μπορεί επίσης να συγκλίνει σε μια στήλη τόξου για να αυξήσει την πυκνότητα πλάσματος ολόκληρου του θαλάμου εναπόθεσης.Στο πλάσμα τόξου, η πυκνότητα αυτών των ενεργών σωματιδίων είναι υψηλή, καθιστώντας ευκολότερη την εναπόθεση μεμβρανών διαμαντιού και άλλων στρωμάτων φιλμ στο τεμάχιο εργασίας.
——Αυτό το άρθρο κυκλοφόρησε από την Guangdong Zhenhua Technology, aκατασκευαστής μηχανών οπτικής επίστρωσης.
Ώρα δημοσίευσης: Μάιος-05-2023