Διαδικασία άμεσου πολυμερισμού πλάσματος

Διαδικασία άμεσου πολυμερισμού πλάσματος

Η διαδικασία του πολυμερισμού πλάσματος είναι σχετικά απλή τόσο για εξοπλισμό πολυμερισμού εσωτερικού ηλεκτροδίου όσο και για εξοπλισμό πολυμερισμού εξωτερικού ηλεκτροδίου, αλλά η επιλογή παραμέτρων είναι πιο σημαντική στον πολυμερισμό πλάσματος, επειδή οι παράμετροι έχουν μεγαλύτερο αντίκτυπο στη δομή και την απόδοση των πολυμερικών μεμβρανών κατά τον πολυμερισμό πλάσματος.

Τα βήματα λειτουργίας για τον άμεσο πολυμερισμό πλάσματος είναι τα εξής:

(1) Σκούπισμα με ηλεκτρική σκούπα

Το κενό φόντου του πολυμερισμού υπό συνθήκες κενού θα πρέπει να αντλείται σε 1,3×10-1Pa.Για αντιδράσεις πολυμερισμού που απαιτούν ειδικές απαιτήσεις για τον έλεγχο της περιεκτικότητας σε οξυγόνο ή άζωτο, η απαίτηση κενού υποβάθρου είναι ακόμη υψηλότερη.

(2) Μονομερές αντίδρασης φόρτισης ή μικτό αέριο φέροντος αερίου και μονομερούς

Ο βαθμός κενού είναι 13-130Pa.Για πολυμερισμό πλάσματος που απαιτεί εργασία, επιλέγεται ο κατάλληλος τρόπος ελέγχου ροής και ο ρυθμός ροής, γενικά 10,100 mL/min.Στο πλάσμα, τα μονομερή μόρια ιονίζονται και διαχωρίζονται με βομβαρδισμό ενεργητικών σωματιδίων, με αποτέλεσμα ενεργά σωματίδια όπως ιόντα και ενεργά γονίδια.Τα ενεργά σωματίδια που ενεργοποιούνται από το πλάσμα μπορούν να υποστούν πολυμερισμό πλάσματος στη διεπιφάνεια της αέριας φάσης και της στερεάς φάσης.Το μονομερές είναι η πηγή του προδρόμου για τον πολυμερισμό πλάσματος και το αέριο και το μονομερές αντίδρασης εισόδου θα έχουν κάποια καθαρότητα.

(3) Επιλογή τροφοδοσίας διέγερσης

Το πλάσμα μπορεί να δημιουργηθεί χρησιμοποιώντας πηγές ενέργειας συνεχούς ρεύματος, υψηλής συχνότητας, ραδιοσυχνοτήτων ή μικροκυμάτων για να παρέχει ένα περιβάλλον πλάσματος για πολυμερισμό.Η επιλογή του τροφοδοτικού καθορίζεται με βάση τις απαιτήσεις για τη δομή και την απόδοση του πολυμερούς.

(4) Επιλογή τρόπου εκφόρτισης

Για τις απαιτήσεις πολυμερών, ο πολυμερισμός πλάσματος μπορεί να επιλέξει δύο τρόπους εκφόρτισης: συνεχή εκφόρτιση ή παλμική εκφόρτιση.

(5) Επιλογή παραμέτρων εκκένωσης

Κατά τη διεξαγωγή πολυμερισμού πλάσματος, οι παράμετροι εκφόρτισης πρέπει να λαμβάνονται υπόψη από τις παραμέτρους του πλάσματος, τις ιδιότητες του πολυμερούς και τις απαιτήσεις δομής.Το μέγεθος της εφαρμοζόμενης ισχύος κατά τον πολυμερισμό καθορίζεται από τον όγκο του θαλάμου κενού, το μέγεθος του ηλεκτροδίου, τον ρυθμό ροής και τη δομή του μονομερούς, τον ρυθμό πολυμερισμού και τη δομή και την απόδοση του πολυμερούς.Για παράδειγμα, εάν ο όγκος του θαλάμου αντίδρασης είναι 1 λίτρο και υιοθετηθεί ο πολυμερισμός πλάσματος RF, η ισχύς εκφόρτισης θα είναι στην περιοχή των 10~30 W.Κάτω από τέτοιες συνθήκες, το πλάσμα που δημιουργείται μπορεί να συσσωματωθεί για να σχηματίσει ένα λεπτό φιλμ στην επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας.Ο ρυθμός ανάπτυξης του φιλμ πολυμερισμού πλάσματος ποικίλλει ανάλογα με την τροφοδοσία, τον τύπο μονομερούς και την ταχύτητα ροής και τις συνθήκες διεργασίας.Γενικά, ο ρυθμός ανάπτυξης είναι 100nm/min~1um/min.

(6) Μέτρηση παραμέτρων στον πολυμερισμό πλάσματος

Οι παράμετροι πλάσματος και οι παράμετροι διεργασίας που πρέπει να μετρηθούν στον πολυμερισμό πλάσματος περιλαμβάνουν: τάση εκφόρτισης, ρεύμα εκφόρτισης, συχνότητα εκφόρτισης, θερμοκρασία ηλεκτρονίων, πυκνότητα, τύπος και συγκέντρωση της ομάδας αντίδρασης κ.λπ.

——Αυτό το άρθρο κυκλοφόρησε από την Guangdong Zhenhua Technology, aκατασκευαστής μηχανών οπτικής επίστρωσης.