Η διαδικασία της επικάλυψης κοίλης καθόδου ιόντων έχει ως εξής:
1, Βάλτε τα πλινθώματα Chin στην κατάρρευση.
2, Τοποθέτηση του τεμαχίου εργασίας.
3, Μετά την εκκένωση σε 5×10-3Pa, το αέριο αργό εισάγεται στον θάλαμο επικάλυψης από τον ασημένιο σωλήνα και το επίπεδο κενού είναι περίπου 100Pa.
4, Ενεργοποιήστε την τροφοδοσία προκατάληψης.
5, Μετά την ενεργοποίηση της τροφοδοσίας τόξου για την ανάφλεξη της εκκένωσης της κοίλης καθόδου. Η εκκένωση λάμψης δημιουργείται στο σωλήνα κουμπιού, η τάση εκφόρτισης είναι 800~1000V,Το ρεύμα ανύψωσης τόξου είναι 30~50A. Λόγω του φαινομένου της κοίλης καθόδου της λάμψης εκκένωση, πυκνότητα ρεύματος εκκένωσης υψηλής λάμψης, Η υψηλή πυκνότητα ιόντων αρουραίων στον ασημένιο σωλήνα βομβαρδίζει το τοίχωμα του πλεονεκτικού σωλήνα, Κάντε το τοίχωμα του σωλήνα να ζεσταθεί γρήγορα μέχρι την εκπομπή της ροής ηλεκτρονίων, ο τρόπος εκκένωσης από την εκκένωση λάμψης ξαφνική αλλαγή σε εκκένωση τόξου, Η τάση είναι 40~70V,Το ρεύμα είναι 80~300A.Η θερμοκρασία του ασημένιου σωλήνα φτάνει πάνω από 2300K,Πυρακτώσεως,Εκπέμπει ένα ρεύμα ηλεκτρονίων τόξου υψηλής πυκνότητας από τον σωλήνα και εκτοξεύεται στην άνοδο.
6, Ρύθμιση του επιπέδου κενού. Το επίπεδο κενού για την εκκένωση λάμψης από το πιστόλι κοίλου καθόδου είναι περίπου 100 Pa, και ο βαθμός κενού της επίστρωσης είναι 8×10-1~2Pa. Επομένως, μετά την ανάφλεξη της εκκένωσης τόξου, Μειώστε το εισερχόμενο αργό αέριο όσο το δυνατόν συντομότερα, Ρυθμίστε το επίπεδο κενού σε ένα εύρος κατάλληλο για επίστρωση.
7, Επικαλυμμένο με τιτάνιο βασικό στρώμα. Ροή ηλεκτρονίων στο μεταλλικό πλινθίο πηγουνιού που έχει καταρρεύσει ανοδικά, Μετατροπή της κινητικής ενέργειας σε θερμική ενέργεια, Εξάτμιση του μετάλλου του πηγουνιού με θέρμανση, Τα άτομα ατμού φτάνουν στο τεμάχιο εργασίας για να σχηματίσουν μια μεμβράνη τιτανίου.
8, Εναπόθεση TiN. Το αέριο άζωτο παρέχεται στον θάλαμο επικάλυψης, το αέριο άζωτο και τα εξατμισμένα άτομα ιονίζονται σε ιόντα αζώτου και τιτανίου. Ο ρυθμός διάστασης μετάλλου είναι τόσο υψηλός όσο 20%~40%, τα ιόντα τιτανίου είναι πιο πιθανό να αντιδράσουν χημικά με το αέριο άζωτο της αντίδρασης, η εναπόθεση για να ληφθεί ένα στρώμα μεμβράνης μανδύα νιτριδίου. Το πιστόλι κοίλου καθόδου είναι και μια πηγή εξάτμισης, μια άλλη πηγή ιονισμού.Κατά την επίστρωση,Θα πρέπει επίσης να ρυθμιστεί το ρεύμα του ηλεκτρομαγνητικού πηνίου γύρω από το χωνευτήριο,Εστίαση της δέσμης ηλεκτρονίων στο κέντρο της κατάρρευσης,Έτσι, αυξάνεται η πυκνότητα ισχύος της ροής ηλεκτρονίων.
9, Απενεργοποίηση. Αφού το πάχος του φιλμ φτάσει στο προκαθορισμένο πάχος του φιλμ, απενεργοποιήστε την τροφοδοσία τόξου, τροφοδοσία ρεύματος και παροχή αέρα.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουλ-08-2023