Κατά τη διάρκεια της επίστρωσης με εξάτμιση, η πυρήνωση και η ανάπτυξη του στρώματος μεμβράνης είναι η βάση διαφόρων τεχνολογιών επίστρωσης ιόντων
1.Πυρήνωση
Inτεχνολογία επίστρωσης εξάτμισης υπό κενό, αφού τα σωματίδια του στρώματος του φιλμ εξατμιστούν από την πηγή εξάτμισης με τη μορφή ατόμων, πετούν απευθείας στο τεμάχιο εργασίας σε υψηλό κενό και σχηματίζουν το στρώμα μεμβράνης με πυρήνωση και ανάπτυξη στην επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας.Κατά τη διάρκεια της εξάτμισης υπό κενό, η ενέργεια των ατόμων στρώματος φιλμ που διαφεύγουν από την πηγή εξάτμισης είναι περίπου 0,2 eV.Όταν η συνοχή μεταξύ των σωματιδίων του στρώματος του φιλμ είναι μεγαλύτερη από τη δύναμη σύνδεσης μεταξύ των ατόμων του στρώματος μεμβράνης και του τεμαχίου εργασίας, σχηματίζεται ένας πυρήνας νησίδας.Ένα άτομο στρώσης μεμβράνης παραμένει στην επιφάνεια του τεμαχίου για όλη τη διάρκεια του χρόνου κάνοντας ακανόνιστη κίνηση, διάχυση, μετανάστευση ή σύγκρουση με άλλα άτομα για σχηματισμό ατομικών συστάδων. Ο αριθμός των ατόμων στο ατομικό σύμπλεγμα φτάνει μια ορισμένη κρίσιμη τιμή, μια σταθερή σχηματίζεται πυρήνας, που ονομάζεται πυρήνας ομογενούς σχήματος.
λεία και περιέχει πολλά ελαττώματα και βήματα, γεγονός που προκαλεί τη διαφορά στη δύναμη προσρόφησης διαφορετικών τμημάτων του τεμαχίου προς τα ραδιενεργά άτομα.Η ενέργεια προσρόφησης της επιφάνειας του ελαττώματος είναι μεγαλύτερη από εκείνη της κανονικής επιφάνειας, επομένως γίνεται το ενεργό κέντρο, το οποίο ευνοεί την προτιμώμενη πυρήνωση, που ονομάζεται ετερογενής πυρήνωση.Όταν η δύναμη συνοχής είναι ίση με τη δύναμη δέσμευσης ή η δύναμη δέσμευσης μεταξύ των ατόμων της μεμβράνης και του τεμαχίου εργασίας είναι μεγαλύτερη από τη δύναμη συνοχής μεταξύ των ατόμων της μεμβράνης, σχηματίζεται η ελασματική δομή.Στην τεχνολογία επιμετάλλωσης ιόντων, στις περισσότερες περιπτώσεις σχηματίζεται ο πυρήνας νησίδας.
2.Ανάπτυξη
Μόλις σχηματιστεί ο πυρήνας του φιλμ, συνεχίζει να αναπτύσσεται παγιδεύοντας τα προσπίπτοντα άτομα. Τα νησιά αναπτύσσονται και ενώνονται μεταξύ τους για να σχηματίσουν μεγαλύτερα ημισφαίρια, σχηματίζοντας σταδιακά ένα ημισφαιρικό στρώμα νησίδας που απλώνεται στην επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας.
Όταν η ατομική ενέργεια του στρώματος του φιλμ είναι υψηλή, μπορεί να διαχέεται επαρκώς στην επιφάνεια και μπορεί να σχηματιστεί ένα ομαλό συνεχές φιλμ όταν τα επόμενα εισερχόμενα ατομικά σμήνη είναι μικρά. Εάν η διάχυση των ατόμων στην επιφάνεια είναι ασθενής και το μέγεθος τα εναποτιθέμενα σμήνη είναι μεγάλα, υπάρχουν ως μεγάλοι χερσονήσιοι πυρήνες. Η κορυφή του πυρήνα του νησιού έχει ισχυρή επίδραση σκίασης στο κοίλο τμήμα, δηλαδή το «φαινόμενο σκιάς». και προνομιακή ανάπτυξη, με αποτέλεσμα αυξανόμενο βαθμό κοιλότητας στην επιφάνεια για να σχηματιστούν κωνικοί ή στηλώδεις κρύσταλλοι επαρκούς μεγέθους.Σχηματίζονται διεισδυτικά κενά μεταξύ των κωνικών κρυστάλλων και η τιμή της τραχύτητας της επιφάνειας αυξάνεται. Λεπτός ιστός μπορεί να ληφθεί σε υψηλό κενό, με τη μείωση του βαθμού κενού, η μικροδομή της μεμβράνης γίνεται πιο παχιά και παχύτερη.
Ώρα δημοσίευσης: 24 Μαΐου 2023