οεξοπλισμός επίστρωσης κενούαποτελείται από πολλά ακριβή μέρη, τα οποία κατασκευάζονται μέσω πολλών διεργασιών, όπως συγκόλληση, λείανση, τόρνευση, πλάνισμα, διάτρηση, φρέζα και ούτω καθεξής.Εξαιτίας αυτών των εργασιών, η επιφάνεια των εξαρτημάτων του εξοπλισμού αναπόφευκτα θα μολυνθεί με ορισμένους ρύπους όπως γράσο, ρύπους λαδιού, μεταλλικά ροκανίδια, ροή συγκόλλησης, πάστα στίλβωσης, σημάδια ιδρώτα και ούτω καθεξής.Αυτοί οι ρύποι είναι εύκολο να εξατμιστούν υπό συνθήκες κενού, επηρεάζοντας έτσι το απόλυτο κενό του εξοπλισμού.
Επιπλέον, αυτοί οι ρύποι κενού από τη μηχανική επεξεργασία απορροφούν μεγάλη ποσότητα αερίου στο περιβάλλον ατμοσφαιρικής πίεσης και σε κατάσταση κενού, αυτά τα προηγουμένως προσροφημένα αέρια θα απελευθερωθούν και πάλι, καθιστώντας έναν σημαντικό παράγοντα που περιορίζει το οριακό κενό.Για το λόγο αυτό, οι ρύποι πρέπει να αφαιρούνται πριν από τη συναρμολόγηση των εξαρτημάτων της μηχανής επίστρωσης κενού.
Κατά τη χρήση του εξοπλισμού κενού, τα εξαρτήματά του θα μολυνθούν επίσης.Ωστόσο, η ρύπανση από αυτή την πηγή προκαλείται κυρίως από τις συνθήκες χρήσης και την αντλία κενού.
1. Η εξάτμιση του νήματος του μετρητή κενού υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας θα οδηγήσει στο σχηματισμό μιας μεμβράνης στον κεραμικό μονωτήρα, η οποία θα βλάψει τη μονωτική του αντοχή σε κάποιο βαθμό και επίσης θα έχει κάποιο αντίκτυπο στην ακρίβεια της μέτρηση;
2. Λόγω της υψηλής θερμοκρασίας εξάτμισης, ένα μεταλλικό φιλμ θα σχηματιστεί στην επιφάνεια κοντά στο νήμα του πιστολιού ηλεκτρονίων στο κενό.
3. Λόγω της εκτόξευσης του τεμαχίου εργασίας, το εσωτερικό τοίχωμα του εξοπλισμού χάραξης δέσμης ιόντων θα μολυνθεί από πιτσιλιές.
4. Το εσωτερικό τοίχωμα του εξοπλισμού επίστρωσης εξάτμισης υπό κενό θα μολυνθεί από το υλικό στόχο εξάτμισης.
5. Συχνά χρησιμοποιείται σύστημα ξήρανσης κενού και το σύστημα θα μολυνθεί από τις εξατμιζόμενες ουσίες.
6. Το λάδι αντλίας διάχυσης και το λάδι μηχανικής αντλίας στον εξοπλισμό επίστρωσης κενού είναι επίσης μια σημαντική πηγή ρύπανσης.Αφού το μηχάνημα επίστρωσης έχει λειτουργήσει για μεγάλο χρονικό διάστημα, μπορεί να σχηματιστεί μια μεμβράνη λαδιού μέσα στον εξοπλισμό.
Συνοψίζοντας, η αποχέτευση κενού του εξοπλισμού περιλαμβάνει εξοπλισμό κενού, σύστημα κενού, παραγωγή διεργασίας κενού και άλλες πτυχές και συνδέσμους, καθώς και τις απαιτήσεις του ίδιου του εξοπλισμού επίστρωσης κενού και ειδική διαδικασία κενού στις συνθήκες χρήσης.Επομένως, η ρύπανση από το κενό είναι ένα πρόβλημα που αξίζει προσοχής, επειδή αυτή η ρύπανση θα επηρεάσει την απόδοση του εξοπλισμού και θα πρέπει να δοθεί προσοχή στον τακτικό ή ανά πάσα στιγμή καθαρισμό.
Ώρα ανάρτησης: Φεβ-21-2023