GX600

La ekipaĵo adoptas vertikalan antaŭpordan strukturon kaj aretan aranĝon.Ĝi povas esti ekipita per vaporiĝfontoj por metaloj kaj diversaj organikaj materialoj, kaj povas vaporigi siliciajn oblatojn de diversaj specifoj.Ekipita per preciza viciga sistemo, la tegaĵo estas stabila kaj la tegaĵo havas bonan ripeteblon.
GX600-tega ekipaĵo povas precize, egale kaj kontroleble vaporigi organikajn lum-eligantajn materialojn aŭ metalajn materialojn sur la substraton.Ĝi havas la avantaĝojn de simpla filmformado, alta pureco kaj alta kompakteco.La plen-aŭtomata filma dikeco en realtempa monitora sistemo povas certigi la ripeteblon kaj stabilecon de la procezo.Ĝi estas ekipita per memfandanta funkcio por redukti la dependecon de la kapabloj de la funkciigisto.
La ekipaĵo povas esti aplikita al Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti kaj aliaj metalaj materialoj, kaj povas esti kovrita per metala filmo, dielektrika tavola filmo, IMD-filmo, ktp. ĝi estas ĉefe uzata en la duonkonduktaĵo. industrio, kiel potencaj aparatoj, duonkonduktaĵo malantaŭa paka substrata tegaĵo, ktp.