PRISKRIBO DE LA PRODUKTO

La tega linio adoptas modulan strukturon, kiu povas pliigi la ĉambron laŭ la procezo kaj efikeco postuloj, kaj povas esti kovrita ambaŭflanke, kio estas fleksebla kaj oportuna.Ekipita per jonpuriga sistemo, rapida hejtado kaj DC magnetrona ŝprucsistemo, ĝi povas efike deponi simplan metalan tegaĵon.La ekipaĵo havas rapidan takton, oportunan fiksadon kaj altan efikecon.

La teglinio estas ekipita per jona purigado kaj alt-temperatura baka sistemo, do la aliĝo de la deponita filmo estas pli bona.La malgranda angula ŝprucado kun turnanta celo estas favora por la demetado de filmo sur la interna surfaco de malgranda aperturo.

1. La ekipaĵo havas kompaktan strukturon kaj malgrandan etaĝan areon.
2. La malplena sistemo estas ekipita per molekula pumpilo por eltiro de aero, kun malalta energia konsumo.
3. Aŭtomata reveno de materiala rako savas laborforton.
4. La procezaj parametroj povas esti spuritaj, kaj la produktada procezo povas esti monitorita en la tuta procezo por faciligi la spuradon de produktadaj difektoj.
5. La tega linio havas altan gradon de aŭtomatigo.Ĝi povas esti uzata kun la manipulatoro por konekti la antaŭajn kaj malantaŭajn procezojn kaj redukti la laborkoston.