HFCVD0606

La vakua tega ĉambro de la kemia vapora deponejo adoptas sendependan duoblan tavolan akvo-malvarmigan strukturon, kiu estas efika kaj unuforma en malvarmigo, kaj havas sekuran kaj stabilan strukturon.La ekipaĵo estas desegnita kun duoblaj pordoj, multoblaj observfenestroj kaj multoblaj ekspansiaj interfacoj, kio estas oportuna por ekstera konekto de helpaj ekstercentraj kiel infraruĝa temperaturo mezurado, spektra analizo, videomonitorado kaj termopar.La altnivela dezajnokoncepto faras la ĉiutagan revizion kaj prizorgadon, agordan ŝanĝon kaj ĝisdatigon de la ekipaĵo facila kaj simpla, kaj efike reduktas la uzadon kaj ĝisdatigkostojn.

Karakterizaĵoj de ekipaĵo:

1.La inflaciaj komponantoj de la ekipaĵo ĉefe inkluzivas masan flumezurilon, solenoidan valvon kaj gas-miksan tankon, kiuj certigas la precizan kontrolon de proceza gaso-fluo, unuforma miksado kaj sekura izolado de malsamaj gasoj, kaj povas elekti gas-sistemajn komponantojn por la uzo de. fonto de likva gaso, faciligas la personigitan elekton de ampleksa gamo de fontoj de likva karbono, kaj la sekuran uzon de sintezaj konduktaj diamantoj kaj elektrodaj likvaj borfontoj.
2.La aera eltira asembleo estas ekipita per silenta kaj efika rotacia vakuo-pumpilo kaj turbomolekula pumpilo, kiu povas rapide renkonti la altan malplenan fonan medion.La kunmetita vakumezurilo kun rezista mezurilo kaj joniga mezurilo estas uzata por vakuomezurado, same kiel la kapacita filma mezurilo, kiu povas mezuri la premon de malsamaj procezaj gasoj en larĝa gamo.La depona premo estas plene aŭtomata regata de altpreciza proporcia kontrola valvo.
3.La malvarmiga akvokomponento estas ekipita per plurkanala akvopremo, fluo, temperaturo-mezurado kaj programaro aŭtomata monitorado.Malsamaj malvarmigaj komponentoj estas sendependaj unu de la alia, kio estas oportuna por rapida diagnozo de misfunkciado.Ĉiuj branĉoj havas sendependajn valvŝaltilojn, kiuj estas sekuraj kaj efikaj.
4.La elektraj kontrolo-komponentoj adoptas grandgrandan hom-maŝinan interfacon LCD-ekranon kaj kunlaboras kun PLC-plen-aŭtomata kontrolo por faciligi la redaktadon kaj importadon de proceza formulo.La grafika kurbo vide montras la ŝanĝojn kaj valorojn de diversaj parametroj, kaj la ekipaĵo kaj procezaj parametroj estas aŭtomate registritaj kaj arkivitaj por faciligi problemon-spuradon kaj datuman statistikan analizon.
5.La laborpeca rako estas ekipita per servomotoro por kontroli la leviĝon kaj malaltiĝon de la substrata tablo.La grafita aŭ ruĝa kupra substrata tablo povas esti elektita.La temperaturo estas mezurata per termoparo.
6.La rako-komponantoj povas esti desegnitaj entute aŭ aparte laŭ klientaj postuloj por plenumi la specialajn uzadojn de klientoj.
7.La sigelaj plataj komponantoj estas belaj kaj elegantaj.La sigelaj platoj en malsamaj funkciaj modulaj areoj de la ekipaĵo povas esti rapide malmuntitaj aŭ malfermitaj kaj fermitaj sendepende, kio estas tre oportuna uzi.

Varma filamenta CVD-ekipaĵo taŭgas por deponado de diamantaj materialoj, inkluzive de maldika filma tegaĵo, memsubtena dika filmo, mikrokristala kaj nanokristala diamanto, kondukta diamanto, ktp. Ĝi estas ĉefe uzata por eluziĝo-rezista protekta tegaĵo de cementitaj karburaj tranĉiloj, duonkonduktaĵoj. kiel ekzemple silicio kaj silicio-karbido, varmega disipa tegaĵo de aparatoj, boro-dopita kondukta diamanta elektrodo, ozono desinfektado de elektroliza akvo aŭ kloakaĵo.