La ekipaĵo integras magnetronan ŝprucadon kaj rezistan vaporiĝteknologion, kaj provizas solvon por kovri diversajn substratojn.
La eksperimenta tega ekipaĵo estas ĉefe uzata en universitatoj kaj sciencaj esplorinstitucioj, kaj povas plenumi diversajn eksperimentajn postulojn.Diversaj strukturaj celoj estas rezervitaj por la ekipaĵo, kiu povas esti flekseble agordita por renkonti la sciencan esploradon kaj evoluon en malsamaj kampoj.Magnetron sputtering sistemo, katoda arko sistemo, elektrona fasko vaporiĝa sistemo, rezisto vaporiĝa sistemo, CVD, PECVD, jona fonto, bias sistemo, hejtado sistemo, tridimensia fiksaĵo, ktp.Klientoj povas elekti laŭ siaj malsamaj bezonoj.
La ekipaĵo havas la karakterizaĵojn de bela aspekto, kompakta strukturo, malgranda etaĝa areo, alta grado de aŭtomatigo, simpla kaj fleksebla operacio, stabila agado kaj facila prizorgado.
La ekipaĵo povas esti aplikata al plasto, neoksidebla ŝtalo, electroplated aparataro / plastaj partoj, vitro, ceramikaĵo kaj aliaj materialoj.Simplaj metalaj tavoloj kiel ekzemple titanio, kromio, arĝento, kupro, aluminio aŭ metalaj kunmetitaj filmoj kiel TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC povas esti preparitaj.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500 * H600 (mm) | φ600 * H800 (mm) | φ800 * H1000 (mm) |