Kun la rapida kresko de la merkata postulo por plibonigo de la eluziĝo-rezisto, lubrikado, koroda rezisto kaj aliaj propraĵoj de malmolaj tegaĵoj, katoda arko magneta filtrado jona tega ekipaĵo fariĝis elstara.La ekipaĵo adoptas la plej ofte uzatan kaj efikan kubuton de 90-grada cirkla sekcio magneta filtrila aparato, kiu povas efike forigi grandajn partiklojn, por doni plenan ludon al la avantaĝoj de katoda arka jona tega teknologio.En la kampo de preparado de DLC-supermalmolaj tegaĵoj, precipe en la kampo de preparado de Ta-C-tegaĵoj kun multaj bonegaj fizikaj kaj kemiaj propraĵoj, kiel alta malmoleco, malalta frota koeficiento, varmokondukado, izolado, UV-sorbado, radiada damaĝo-rezisto, koroda rezisto. , ktp., la avantaĝoj estas precipe signifaj.La averaĝa malmoleco de Ta-C-tegaĵoj povas atingi ĝis proksimume 63GPa.
La ekipaĵo povas deponi Hibridajn diamantajn karbonajn tegaĵojn kiel Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN, kiuj taŭgas por mikroborado, frezmaŝinoj, frapetoj, bastonformaj tranĉiloj, aŭtopartoj, medicinaj aparatoj kaj aliaj. kampoj.
La lasero Raman-spektrotestrezultoj, la Raman-spektro de Cr-transirtavolo sur la surfaco de altrapida ŝtalo:
Specimeno 20210122, Gaŭsa konveno de Raman-testrezultoj (ID/IG=0.224, sp3-enhavo estas sufiĉe alta):
Laŭ la malmolectestrezultoj de Nano-indentinstrumento, la meza malmoleco de specimeno 20210122 estas 62.7GPa:
MFA0605 |
φ600 * H500 (mm) |