1) Cilindraj celoj havas Pli altan utiligan indicon ol ebenaj celoj.En la tega procezo, ĉu ĝi estas rotacia magneta tipo aŭ rotacia tubo tipo cilindra sputtering celo, ĉiuj partoj de la surfaco de la celtubo senĉese pasas tra la sputtering areo generita antaŭ la permanenta magneto ricevi katodo sputtering, kaj la celo povas esti unuforme ŝprucita gravurita, kaj la celo-utiliga indico estas alta.La utiliga indico de celmaterialoj estas ĉirkaŭ 80% ~ 90%.
2) Cilindraj celoj ne facile produkti "cela veneniĝo".Dum la tega procezo, la surfaco de la celtubo ĉiam estas ŝprucita kaj gravurita de jonoj, kaj ne estas facile amasigi dikajn oksidojn kaj aliajn izolajn filmojn sur la surfaco, kaj ne estas facile produkti "celan veneniĝon".
3) La strukturo de la rotacia celo tubo tipo cilindra sputtering celo estas simpla kaj facile instali.
4) La cilindra celo-tuba materialo havas diversajn tipojn.ebena celo kun metala celo rekta akvomalvarmigo, kaj iuj ne povas esti prilaboritaj kaj formitaj cilindraj celoj, kiel In2-SnO2-celo, ktp kun pulvora materialo por varma izostatika premado por akiri telerosimilajn celojn, ĉar la grandeco ne povas esti farita. granda, kaj fragila, do necesas uzi brazing-metodon kaj kupran backplaton por integri kaj poste instali sur la cela bazo.Krom metalaj pipoj, kolonaj celoj ankaŭ povas esti ŝprucitaj sur la surfaco de neoksideblaj ŝtalaj pipoj kun diversaj materialoj, kiuj devas esti kovritaj, kiel Si, Cr, ktp.
Nuntempe, la proporcio de cilindraj celoj por tegaĵo en industria produktado pliiĝas.Cilindraj celoj ne nur uzas por la vertikala tegmaŝino sed ankaŭ uzas en la rulo por ruliĝi tegmaŝino.En la lastaj jaroj, la planaj ĝemelceloj estas iom post iom anstataŭigitaj per la Cilindraj ĝemelceloj.
——Ĉi tiu artikolo estis publikigita de Guangdong Zhenhua Technology, afabrikisto de optikaj tegmaŝinoj.
Afiŝtempo: majo-11-2023