1. La laborpeco-biaso estas malalta
Pro la aldono de aparato por pliigi la jonigan indicon, la malŝarĝa kurenta denseco pliiĝas, kaj la polartensio estas reduktita al 0,5 ~ 1kV.
La backsputtering kaŭzita de troa bombado de alt-energiaj jonoj kaj la damaĝa efiko sur la laborpeca surfaco estas reduktitaj.
2. Pliigita plasmo-denseco
Diversaj rimedoj por antaŭenigi koliziojonigon estis aldonitaj, kaj la metala joniga indico pliiĝis de 3% al pli ol 15%.La denseco de mentonaj jonoj kaj alt-energiaj neŭtralaj atomoj, nitrogenaj jonoj, alt-energiaj aktivaj atomoj kaj aktivaj grupoj en la tega ĉambro estas pliigita, kio estas favora al la reago por formi komponaĵojn.La ĉi-supraj diversaj plibonigitaj lum-senŝargiĝjonaj tegteknologioj povis akiri TN-malmolajn filmtavolojn per reagdemetado ĉe pli altaj plasmodensecoj, sed ĉar ili apartenas al la bril-senŝargiĝspeco, la senŝargiĝkurenta denseco ne estas sufiĉe alta (ankoraŭ mA/cm2-nivelo). ), kaj la ĝenerala plasmodenseco ne estas sufiĉe alta, kaj la procezo de reakcia deponaĵa tegaĵo estas malfacila.
3. La tega gamo de la punktovapora fonto estas malgranda
Diversaj plibonigitaj jonaj tegteknologioj uzas elektronradiajn vaporiĝajn fontojn, kaj gantu kiel punktan vaporiĝfonton, kiu estas limigita al certa intervalo super gantu por reakcia deponado, do la produktiveco estas malalta, la procezo estas malfacila, kaj estas malfacile industriigi.
4. Elektronika pafilo altprema operacio
La elektrona pafilo-tensio estas 6~30kV, kaj la laborpeca bias-tensio estas 0.5~3kV, kiu apartenas al alttensia operacio kaj havas certajn sekurecdanĝerojn.
——Ĉi tiu artikolo estis publikigita de Guangdong Zhenhua Technology, afabrikisto de optikaj tegmaŝinoj.
Afiŝtempo: majo-12-2023