1. Termika CVD-teknologio
Malmolaj tegaĵoj estas plejparte metalaj ceramikaj tegaĵoj (TiN, ktp.), kiuj estas formitaj per la reago de metalo en la tegaĵo kaj reaktiva gasiĝo.Komence, la termika CVD-teknologio estis uzata por provizi la aktivigan energion de kombina reago per termika energio je alta temperaturo de 1000 ℃.Ĉi tiu temperaturo taŭgas nur por deponado de TiN kaj aliaj malmolaj tegaĵoj sur cementitaj karburaj iloj.Ĝis nun, estas ankoraŭ grava teknologio deponi TiN-Al20-komponitajn tegaĵojn sur cementitaj karburaj ilaj kapoj.
2. Kava katoda jona tegaĵo kaj varma drato arka jona tegaĵo
En la 1980-aj jaroj, kava katoda jona tegaĵo kaj varma drata arka jona tegaĵo kutimis deponi tegitajn tranĉilojn.Ambaŭ ĉi tiuj jonaj tegteknologioj estas arksenŝargiĝaj jonaj tegteknologioj, kun metala joniga indico de ĝis 20% ~ 40%.
3. Katoda arko jona tegaĵo
La apero de katoda arka jona tegaĵo kaŭzis la evoluon de la teknologio de deponado de malmolaj tegaĵoj sur muldiloj.La joniga indico de katoda arka jona tegaĵo estas 60% ~ 90%, permesante al granda nombro da metalaj jonoj kaj reakciaj gasaj jonoj atingi la surfacon de la laborpeco kaj daŭre konservi altan aktivecon, rezultigante reagan deponaĵon kaj formadon de malmolaj tegaĵoj kiel ekzemple. TiN.Nuntempe, katoda arka jona tegteknologio estas ĉefe uzata por deponi malmolajn tegaĵojn sur muldiloj.
La katoda arkfonto estas solidsubstanca vaporiĝfonto sen fiksa fandita naĝejo, kaj la arkfonta pozicio povas esti arbitre metita, plibonigante la spacan utiligan indicon de la tegĉambro kaj pliigante la fornegan ŝarĝkapablon.La formoj de katodaj arkfontoj inkludas malgrandajn cirklajn katodajn arkfontojn, kolonarkfontojn, kaj rektangulajn platajn grandajn arkfontojn.Malsamaj komponentoj de malgrandaj arkfontoj, kolonarkfontoj, kaj grandaj arkfontoj povas esti aranĝitaj aparte por deponi plurtavolajn filmojn kaj nanoplurtavolajn filmojn.Dume, pro la alta metala joniga indico de katoda arka jona tegaĵo, metalaj jonoj povas sorbi pli da reakciaj gasoj, rezultigante larĝan procedan gamon kaj simplan operacion por akiri bonegajn malmolajn tegaĵojn.Tamen, ekzistas krudaj gutetoj en la mikrostrukturo de la tega tavolo akirita per katoda arka jona tegaĵo.En la lastaj jaroj, multaj novaj teknologioj aperis por rafini la strukturon de la filmtavolo, kio plibonigis la kvaliton de la arka jona tega filmo.
——Ĉi tiu artikolo estis publikigita de Guangdong Zhenhua Technology, afabrikisto de optikaj tegmaŝinoj.
Afiŝtempo: Apr-28-2023