Proceza Fluo de Sputtering Coating Machine

1. Bombarda purigado de substrato

1.1) Sputtering tegmaŝino uzu brilan malŝarĝon por purigi la substraton.Tio estas, ŝargu la argonan gason en la ĉambron, la malŝarĝa tensio estas ĉirkaŭ 1000V, Post ŝaltado de la elektroprovizo, brila malŝarĝo estas generita, kaj la substrato estas purigita per argonjonbombado.

1.2) En ŝprucantaj tegmaŝinoj, kiuj industrie produktas altnivelajn ornamaĵojn, titanaj jonoj elsenditaj de malgrandaj arkaj fontoj estas plejparte uzataj por purigado.La ŝpruciga tegmaŝino estas ekipita per malgranda arka fonto, kaj la titania jona fluo en la arka plasmo generita de la malŝarĝo de malgranda arka fonto estas uzata por bombadi kaj purigi la substraton.

2. Titanio nitruro tegaĵo

Dum deponado de maldikaj filmoj de titanio nitruro, la celmaterialo por sputtering estas titaniocelo.La cela materialo estas konektita al la negativa elektrodo de la ŝprucanta nutrado, kaj la cela tensio estas 400~500V;La argonfluo estas fiksita, kaj la kontrola vakuo estas (3~8) x10^-1PA.La substrato estas konektita al la negativa elektrodo de la pola nutrado, kun tensio de 100~200V.

Post ŝaltado de la elektra provizo de la ŝprucanta titancelo, estas generita brila malŝarĝo, kaj alt-energiaj argonjonoj bombas la ŝprucan celon, ŝprucigante titanajn atomojn de la celo.

La reakcia gasa nitrogeno estas enkondukita, kaj la titanaj atomoj kaj nitrogeno estas jonigitaj en titanajn jonojn kaj nitrogenajn jonojn en la tega ĉambro.Sub la altiro de la negativa tendenco elektra kampo aplikita al la substrato, titanaj jonoj kaj nitrogenaj jonoj akcelas al la surfaco de la substrato por kemia reago kaj demetado por formi titannitruran filmtavolon.

3. Elprenu la substraton

Post atingado de la antaŭfiksita filmo-dikeco, malŝaltu la ŝprucan elektroprovizon, substratan biasan elektrofonton kaj aerfonton.Post kiam la temperaturo de la substrato estas pli malalta ol 120 ℃, plenigu la tegan ĉambron per aero kaj elprenu la substraton.

Ĉi tiu artikolo estas publikigita deMagnetron sputtering tega maŝinfabrikisto– Guangdong Zhenhua.