Procezo de kava katoda jona tegaĵo

La procezo de kava katoda jona tegaĵo estas kiel sekvas:

1、Metu Mentonajn ingotojn en la kolapson.

2 、 Muntado de la laborpeco.

3、Post evakuado al 5×10-3Pa, argongaso estas enkondukita en la tegĉambron de la arĝenta tubo, kaj la malplena nivelo estas ĉirkaŭ 100Pa.

4、Enŝaltu la antaŭjuĝon.

5 、 Post ŝaltado de la arka potenco por ekbruligi la kavan katodan malŝarĝon. La brila malŝarĝo estas generita en la butontubo, Malŝarĝa tensio estas 800 ~ 1000 V, La ark-leva kurento estas 30 ~ 50 A. Pro la kava katoda efiko de brilo malŝarĝo,Alta brila malŝarĝa kurenta denseco,La alta denseco de ratjonoj en la arĝenta tubo bombadas la muron de la vantagetubo,Igu la tubmuron rapide varmiĝi al la elsendo de elektrona fluo, la senŝargiĝo de la brila malŝarĝo subita ŝanĝo al arka malŝarĝo, Tensio estas 40 ~ 70 V, Kurento estas 80 ~ 300 A. Arĝenta tubtemperaturo atingas super 2300 K, Inkandeska, Elsendas altan densecan fluon de arkaj elektronoj de la tubo, kaj pafita al la anodo.

6、Alĝustigo de malplena nivelo.La malplena nivelo por brila malŝarĝo de kava katoda pafilo estas ĉirkaŭ 100 Pa, Kaj la vakua grado de tegaĵo estas 8×10-1~2Pa. Tial, Post ekbruligo de la arko, Redukti la envenantan argonon gaso kiel eble plej baldaŭ, Alĝustigu la malplenan nivelon al gamo taŭga por tegaĵo.

7, Titanio tegita baza tavolo. Elektrona fluo sur la anodike kolapsitan Mentonan metalan ingoton,Konvertiĝon de kineta energio al termika energio,Vaporiĝo de Mentono-metalo per hejtado,Vaporaj atomoj atingas la laborpecon por formi titanan filmon.

8、Deponado de TiN. Nitrogena gaso estas liverita al la tegĉambro, Nitrogena gaso kaj vaporiĝintaj atomoj estas jonigitaj en nitrogenajn kaj titanajn jonojn. Super la fandujo, Pli alta probablo de malelastaj kolizioj de titanaj vaporaj atomoj kun densaj fluoj de malaltenergiaj elektronoj, La metala disociiĝo-procento estas tiom alta kiel 20% ~ 40%.,Titanaj jonoj pli verŝajne reagas kemie kun la reakcia gasa nitrogeno,Deponado por akiri nitrudan mantelan filmtavolon.La kava katoda pafilo estas ambaŭ vaporiĝa fonto，Alia fonto. de jonigo.Dum tegaĵo,La kurento de la elektromagneta bobeno ĉirkaŭ la fandujo ankaŭ devus esti alĝustigita,Foku la elektronan faskon al la centro de la kolapso,Tiel, la potenca denseco de elektrona fluo pliiĝas.

9、Malŝaltu. Post kiam la filmo dikeco atingas la antaŭfiksitan filmdikecon, Malŝaltu arkan elektroprovizon、Bias elektroprovizo kaj aerprovizo.