1. Lavakua vaporiĝo tegaĵoprocezo inkludas la vaporiĝon de filmmaterialoj, la transporton de vaporatomoj en alta vakuo, kaj la procezon de nukleado kaj kresko de vaporatomoj sur la surfaco de la laborpeco.
2. La depona malplena grado de vakua vaporiĝa tegaĵo estas alta, ĝenerale 10-510-3Pa. La libera vojo de gasaj molekuloj estas 1~10m ordo de grandeco, kiu estas multe pli granda ol la distanco de la vaporiĝfonto al la laborpeco, ĉi tiu distanco estas nomita la vaporiĝdistanco, ĝenerale 300~800mm.La tegantaj partikloj apenaŭ kolizias kun gasmolekuloj kaj vaporatomoj kaj atingas la laborpecon.
3. La vakua vaporiĝa tega tavolo ne estas vundita tegaĵo, kaj la vaporaj atomoj iras rekte al la laborpeco sub alta vakuo.Nur la flanko turnanta al la vaporiĝfonto sur la laborpeco povas akiri la filmtavolon, kaj la flanko kaj dorso de la laborpeco apenaŭ povas akiri la filmtavolon, kaj la filmtavolo havas malbonan tegaĵon.
4. La energio de la eroj de la vakua vaporiĝa tega tavolo estas malalta, kaj la energio, kiu atingas la laborpecon, estas la varmega energio portita de la vaporiĝo.Ĉar la laborpeco ne estas tendencita dum vakua vaporiĝa tegaĵo, la metalaj atomoj dependas nur de la varmo de vaporiĝo dum vaporiĝo, la vaporiĝtemperaturo estas 1000 ~ 2000 °C, kaj la energio portita estas ekvivalenta al 0,1 ~ 0,2 eV, do la energio de la filmpartikloj estas malaltaj, la ligoforto inter la filmtavolo kaj la matrico estas malgranda, kaj estas malfacile formi kunmetitan tegaĵon.
5. La vakua evapora tega tavolo havas fajnan strukturon.La vakua vaporiĝa tegaĵo estas formita sub alta vakuo, kaj la filmaj partikloj en la vaporo estas esence atomskalo, formante fajnan kernon sur la surfaco de la laborpeco.
Afiŝtempo: Jun-14-2023