Jona tegaĵomaŝino originis de la teorio proponita fare de DM Mattox en la 1960-aj jaroj, kaj ekvivalentaj eksperimentoj komenciĝis en tiu tempo;Ĝis 1971, Chambers kaj aliaj publikigis la teknologion de elektronradia jona tegaĵo;La reaktiva vaporiĝa tegaĵo (ARE) teknologio estis indikita en la Bunshah-raporto en 1972, kiam super-malmolaj filmspecoj kiel ekzemple TiC kaj TiN estis produktitaj;Ankaŭ en 1972, Smith kaj Molley adoptis la kavan katodan teknologion en la tegprocezo.Ĝis la 1980-aj jaroj, la jontegaĵo en Ĉinio finfine atingis la nivelon de industria aplikado, kaj la tegprocezoj kiel vakua plur-arka jontegado kaj ark-senŝargi jontegado sinsekve aperis.
La tuta laborprocezo de vakua jona tegado estas jena: unue,pumpilola vakua kamero, kaj posteatendula malplena premo al 4X10 ⁻ ³ Paaŭ pli bone, Necesas konekti la alttensian nutradon kaj konstrui malaltan temperaturon-plasman areon de malalttensia malŝarĝa gaso inter la substrato kaj la vaporigilo.Konektu la substratan elektrodon kun 5000V DC negativa alta tensio por formi brilan malŝarĝon de la katodo.Inertaj gasjonoj estas generitaj proksime de la negativa brilareo.Ili eniras la katodan malhelan areon kaj estas akcelitaj per la elektra kampo kaj bombas la surfacon de la substrato.Ĉi tio estas purigadprocezo, kaj poste eniru la tegprocezon.Tra la efiko de bombarda hejtado, kelkaj tegmaterialoj estas vaporigitaj.La plasmo-areo eniras la protonojn, kolizias kun elektronoj kaj inertaj gasaj jonoj, kaj malgranda parto de ili estas jonigita, Ĉi tiuj jonigitaj jonoj kun alta energio bombas la filmsurfacon kaj plibonigos la filmon kvaliton iagrade.
La principo de vakua jona tegaĵo estas: en la vakua ĉambro, uzante la fenomenon de malŝarĝo de gaso aŭ la jonigitan parton de la vaporigita materialo, sub la bombado de la vaporigita materialo jonoj aŭ gasjonoj, samtempe deponu ĉi tiujn vaporigitajn substancojn aŭ iliajn reaktivajn sur la substraton. por akiri maldikan filmon.La jona tegaĵomaŝinokombinas vakuan vaporiĝon, plasmoteknologion kaj gasan brilan malŝarĝon, kio ne nur plibonigas la filmkvaliton, sed ankaŭ vastigas la aplikaĵon de la filmo.La avantaĝoj de ĉi tiu procezo estas forta difrakto, bona filmo-adhero kaj diversaj tegaĵoj.La principo de jontegado unue estis proponita fare de DM Mattox.Estas multaj specoj de jona tegado.La plej ofta tipo estas vaporiĝa hejtado, inkluzive de rezista hejtado, elektronradia hejtado, plasmo-elektronradia hejtado, altfrekvenca indukta hejtado kaj aliaj hejtado-metodoj.
Afiŝtempo: Feb-14-2023