Ĉi tiu serio de ekipaĵo uzas magnetronajn celojn por konverti tegmaterialojn en nanometrajn partiklojn, kiuj estas deponitaj sur la surfaco de substratoj por formi maldikajn filmojn.La ruliĝinta filmo estas metita en la vakuan ĉambron.Tra la elektre movita bobena strukturo, unu fino ricevas la filmon kaj la alia metas la filmon.Ĝi daŭre pasas tra la celareo kaj ricevas la celpartiklojn por formi densan filmon.
Karakterizaĵo:
1. Malalta temperaturo filmo formado.La temperaturo havas malmulte da efiko sur la filmo kaj ne produktos deformadon.Ĝi taŭgas por PET, PI kaj aliaj bazmaterialaj bobenaj filmoj.
2. La filmo dikeco povas esti desegnita.Maldikaj aŭ dikaj tegaĵoj povas esti dezajnitaj kaj deponitaj per proceza ĝustigo.
3. Multoblaj cela loko-dezajno, fleksebla procezo.La tuta maŝino povas esti ekipita per ok celoj, kiuj povas esti uzataj kiel aŭ simplaj metalaj celoj aŭ kunmetitaj kaj oksidaj celoj.Ĝi povas esti uzata por prepari unutavolajn filmojn kun ununura strukturo aŭ plurtavolajn filmojn kun kunmetita strukturo.La procezo estas tre fleksebla.
La ekipaĵo povas prepari elektromagnetan ŝirman filmon, flekseblan cirkvittablon tegaĵon, diversajn dielektrajn filmojn, multi-tavolan AR-kontraŭreflektan filmon, HR altan kontraŭreflektan filmon, koloran filmon, ktp. la ekipaĵo havas tre larĝan gamon de aplikoj, kaj unu-tavola filmo-demetado. povas esti kompletigita per unufoja filmdemetado.
La ekipaĵo povas adopti simplajn metalajn celojn kiel Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ktp., aŭ kunmetitajn celojn kiel SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ktp.
La ekipaĵo estas malgranda en grandeco, kompakta en strukturo dezajno, malgranda en etaĝa areo, malalta en energikonsumo, kaj fleksebla en alĝustigo.Ĝi estas tre taŭga por proceza esplorado kaj disvolviĝo aŭ malgranda amasa produktado.